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ULVAC 愛發(fā)科 DIS-90 渦旋干式真空泵 產(chǎn)品介紹 玉崎科學(xué)儀器原裝現(xiàn)貨
更新時間：2026-07-28
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ULVAC 愛發(fā)科 DIS-90 渦旋干式真空泵 產(chǎn)品介紹 玉崎科學(xué)儀器原裝現(xiàn)貨
一、基礎(chǔ)概述
品牌型號：ULVAC（日本愛發(fā)科）DIS-90泵類型：雙繞式渦旋干式真空泵（無油干泵）采用一級動渦旋 + 兩級定渦旋復(fù)合渦旋結(jié)構(gòu)；動、靜渦旋盤非接觸運轉(zhuǎn)，泵腔內(nèi)部無潤滑油，屬于潔凈型干式機械泵；可直接從大氣壓啟動，常作為分子泵前級泵，是實驗室、精密設(shè)備小型真空主力干泵。
二、核心技術(shù)規(guī)格
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 抽氣速度 | 50Hz：90 L/min；60Hz：108 L/min |
| 極限壓力 | ≤5 Pa |
| 電機規(guī)格 | 單相 100/115/200/230V，150W，4 極電容啟動 |
| 吸氣接口 | KF25 |
| 排氣接口 | KF16 |
| 外形尺寸 | 214(W)×308(L)×225(H) mm |
| 整機重量 | 14 kg |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷（無需冷卻水） |
| 噪音 | ≤52dB（開啟空氣沖洗 AF）；≤57dB（關(guān)閉 AF） |
| 環(huán)境溫度 | 5～40℃，室內(nèi)使用 |
| 標配功能 | 內(nèi)置運行計時表、自動復(fù)位熱保護器、Air Flush 空氣吹掃接口（Rc1/8） |
| RoHS 認證 | 支持 |
三、工作原理
偏心驅(qū)動軸帶動動渦旋盤做圓周平動，與固定渦旋盤形成連續(xù)變化的密閉壓縮腔；氣體由外周吸入，逐級向中心壓縮排出；無油、無金屬摩擦接觸，不產(chǎn)生油霧污染，獲得潔凈真空。
四、產(chǎn)品核心特點
? 無油潔凈真空泵腔不含潤滑油，無返油風(fēng)險，不會污染腔體、樣品、光學(xué)元件，優(yōu)于油旋片泵。? 風(fēng)冷小型化，安裝靈活無需水冷，體積小巧、自帶提手，便于設(shè)備內(nèi)置集成、實驗室移動使用。? 低振動、低噪音渦旋運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動遠小于活塞式干泵（DOP 系列），適合精密分析儀器。? 自帶空氣吹掃（AF）功能通入少量干燥空氣吹掃泵腔，抑制水汽凝結(jié)，輕微提升耐水汽能力。? 運維可視化標配運行小時計，便于記錄時長、規(guī)劃密封件保養(yǎng)周期；內(nèi)置過熱保護。? 大氣壓可連續(xù)啟動寬壓力區(qū)間穩(wěn)定運行，可直接作為分子泵（TMP）標準前級泵。
五、典型應(yīng)用場景
分析儀器：氦氣檢漏儀、質(zhì)譜儀、SEM 掃描電鏡、表面分析設(shè)備前級泵
光學(xué) / 半導(dǎo)體小型設(shè)備：小型鍍膜、Load-Lock 預(yù)抽、晶圓小型真空載臺
實驗室真空：小型真空腔體、樣品脫氣、真空干燥、氣體回收系統(tǒng)
通用精密設(shè)備：小型等離子設(shè)備、科研真空實驗裝置
六、重要使用注意事項
工況限制
不可抽吸大量粉塵、有機溶劑蒸汽、強酸、鹵素、液態(tài)水；僅允許微量水汽，長時間含水工況必須持續(xù)開啟空氣吹掃。
進氣建議
進氣前端務(wù)必加裝粉塵過濾器，固體顆粒會刮傷渦旋密封面，造成極限真空惡化。
對比選型參考
DIS-90：渦旋干泵，極限真空 5Pa，低噪潔凈，適合分子泵前級、精密儀器；
DOP-301SB：搖動活塞干泵，抽速更大、極限真空僅數(shù)千 Pa，適合粗真空吸附；
LS120A：螺桿干泵，大抽速、水冷，面向工藝腔體。
七、 采購渠道
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學(xué)
項目負責(zé)人：林經(jīng)理
