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日本 MIYUKI 美幸輝 真空閘閥系列完整產(chǎn)品詳情玉科原裝供應(yīng)
更新時(shí)間：2026-08-24
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日本 MIYUKI 美幸輝 真空閘閥系列完整產(chǎn)品詳情玉科原裝供應(yīng)
原裝現(xiàn)貨供應(yīng)：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司品牌負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理 地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號(hào)電商集團(tuán) 7 樓整層
型號(hào)命名規(guī)則
系列?法蘭代號(hào)?通徑J：JIS 日標(biāo)法蘭；I：ISO?F 法蘭；C：CF 刀口法蘭；N：KF (NW) 快卸法蘭
例：L?I160、GH?I250、GR?C200
三大系列詳細(xì)說明
1、L 系列｜經(jīng)濟(jì)型薄型氣動(dòng)真空閘閥（市場(chǎng)出貨量大）
驅(qū)動(dòng)：雙作用氣動(dòng)氣缸，可選彈簧復(fù)位單作用；氣源 0.4?0.6MPa，氣缸自帶末端氣墊緩沖，降低沖擊噪音。
結(jié)構(gòu)：超薄面間尺寸，大通導(dǎo)、流阻小；閥板鋁合金輕量化；球壓多點(diǎn)密封，反向壓差依然保持可靠密封；啟閉過程閥板不摩擦閥體，減少顆粒產(chǎn)生。
定位：高性價(jià)比通用隔斷閥，真空泵組主路切斷、真空爐粗抽管路、普通鍍膜設(shè)備隔離。
局限：不具備開度調(diào)節(jié)功能，僅全開 / 全關(guān)；不適合強(qiáng)腐蝕等離子半導(dǎo)體量產(chǎn)制程。
2、GH 系列｜高性能二段可調(diào)式氣動(dòng)真空閘閥（工業(yè) / 半導(dǎo)體主力）
驅(qū)動(dòng)：主氣缸 + 副調(diào)節(jié)氣缸二段機(jī)構(gòu)，可機(jī)械限位設(shè)定小開度；實(shí)現(xiàn)全關(guān)?小開度慢抽?全開快抽三工位動(dòng)作，一臺(tái)閥門替代主閥 + 旁路閥，簡化管路布局。
核心優(yōu)勢(shì)：慢抽慢破空，抑制氣流揚(yáng)塵、保護(hù)工件；球壓強(qiáng)化密封，大口徑高壓差工況密封穩(wěn)定；SUS304 電解拋光閥體，低發(fā)塵；可升級(jí) Kalrez 密封圈應(yīng)對(duì)腐蝕工藝氣體。
定位：光學(xué)鍍膜、鋰電脫氣腔體、大型真空爐、面板設(shè)備、半導(dǎo)體中試設(shè)備；大口徑量產(chǎn)真空系統(tǒng)。
3、GR 系列｜手動(dòng)真空閘閥（檢修、無氣源工況）
驅(qū)動(dòng)：手輪回轉(zhuǎn)手動(dòng)操作，操作輕便省力；內(nèi)置過載離合，防止過擰損傷密封件。
結(jié)構(gòu)：側(cè)向布置執(zhí)行器，整機(jī)高度低，適配狹小安裝空間；球壓密封，耐受正反壓差；可選配微動(dòng)開關(guān)輸出開 / 關(guān)信號(hào)對(duì)接 PLC 系統(tǒng)。
定位：設(shè)備檢修旁路隔斷、實(shí)驗(yàn)室真空腔體、沒有壓縮氣源的點(diǎn)位；腔體維護(hù)隔離，保護(hù)真空泵與腔體。
通用核心技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù)規(guī)格 |
|---|---|
| 工作壓力范圍 | 10?Pa（常壓）～10??Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 殼體外漏 ≤1×10?11 Pa?m3/s；閥座內(nèi)漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 介質(zhì)接觸材質(zhì) | SUS304 不銹鋼，真空釬焊一體成型，內(nèi)腔電解拋光，低放氣 |
| 標(biāo)準(zhǔn)密封件 | FKM 氟橡膠?25~120℃；可選 Kalrez 全氟醚密封圈，抗等離子腐蝕 |
| 烘烤溫度 | FKM 密封最高 120℃；金屬密封版本最高 200℃ |
| 氣源條件（氣動(dòng)款） | 0.4?0.6MPa，干燥潔凈無油壓縮空氣 |
| 法蘭規(guī)格 | KF (NW)/ISO?F/JIS/CF；口徑 DN40?DN500 全覆蓋 |
| 電氣選配 | 微動(dòng)開關(guān) NPN/PNP，輸出全開、全關(guān)到位信號(hào)接入 PLC |
| 裝配檢測(cè) | 百級(jí)潔凈室組裝，每臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試 |
選型對(duì)照表
| 使用工況 | 推薦系列 | 代表型號(hào) |
|---|---|---|
| 通用真空機(jī)組、普通真空爐，追求性價(jià)比 | L 系列 | L?I160、L?I250 |
| 大口徑腔體，需要慢抽 / 慢破空防沖料，鍍膜、鋰電、半導(dǎo)體中試 | GH 系列 | GH?I160、GH?I250、GH?I400 |
| 檢修旁路、無氣源、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備人工操作隔斷 | GR 系列 | GR?C160、GR?I200 |
供貨與配套服務(wù)
現(xiàn)貨庫存：L 系列、GH 系列流通主流型號(hào)有原裝現(xiàn)貨，可直接出庫；
訂貨交期：大口徑 DN400?DN500、CF 法蘭、Kalrez 密封定制款日本原廠訂貨；
交付資料：原廠說明書、氦檢報(bào)告、CE 證書；支持密封件選型確認(rèn)；
配套方案：可搭配 MGCS?11 真空控制器，實(shí)現(xiàn)閘閥 + 真空規(guī)整套系統(tǒng)方案；
