當(dāng)前位置：
MIYUKI美幸輝G?J350氣動(dòng)伺服真空控制蝶閥氣源驅(qū)動(dòng)閉環(huán)玉崎科學(xué)原裝可定制
更新時(shí)間：2026-08-26
點(diǎn)擊次數(shù)：79
MIYUKI 美幸輝 G?J350 氣動(dòng)伺服真空控制蝶閥（氣源驅(qū)動(dòng)閉環(huán)）
原裝現(xiàn)貨供應(yīng)：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司品牌負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號(hào)電商集團(tuán) 7 樓整層
一、型號(hào)釋義
G：G 系列 氣動(dòng)伺服調(diào)節(jié)蝶閥（氣源驅(qū)動(dòng)閉環(huán)，非電動(dòng)）
J：JIS 日標(biāo)法蘭
350：公稱(chēng)通徑 DN350（350A）
可定制變更法蘭：ISO?F、CF 刀口法蘭；密封件可選 Kalrez 全氟醚。
二、核心結(jié)構(gòu)與工作原理
驅(qū)動(dòng)形式：純氣動(dòng)伺服機(jī)構(gòu)（無(wú)電機(jī)）
依靠 0.4?0.6MPa 潔凈干燥壓縮空氣驅(qū)動(dòng)，內(nèi)置閥位反饋機(jī)構(gòu)，輸出閥位信號(hào)，外接MGCS?11 真空壓力控制器構(gòu)成完整 PID 閉環(huán)控制系統(tǒng)，自動(dòng)調(diào)節(jié)蝶板開(kāi)度，穩(wěn)定腔體工藝壓力。
安全機(jī)制：?jiǎn)巫饔脧椈蓮?fù)位，失氣自動(dòng)全關(guān)
氣源丟失時(shí)彈簧強(qiáng)制關(guān)閉閥門(mén)，阻斷泵組與腔體，防止大氣返流污染晶圓、面板基板，滿(mǎn)足產(chǎn)線(xiàn)安全聯(lián)鎖要求。
超薄大通導(dǎo)閥體
大口徑優(yōu)化流道，面間尺寸短，流導(dǎo)高，抽氣阻力小，縮短大腔體抽本底時(shí)間；任意角度安裝（水平 / 垂直均可）。
球面多點(diǎn)壓緊雙向密封
正向、反向壓差條件下均可維持低泄漏；啟閉過(guò)程減少摩擦，降低顆粒析出，適配半導(dǎo)體、面板潔凈制程。
出廠(chǎng)檢測(cè)：百級(jí)潔凈室裝配，逐臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏。
三、完整技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | G?J350 JIS DN350 參數(shù) |
|---|---|
| 公稱(chēng)通徑 | DN350（350A），JIS B2290 法蘭 |
| 工作壓力范圍 | 1×10?Pa（常壓）～1×10??Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 閥座內(nèi)漏 ≤1×10?? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，He 檢漏出廠(chǎng) |
| 驅(qū)動(dòng)氣源 | 0.4?0.6?MPa，無(wú)油干燥潔凈壓縮空氣；彈簧復(fù)位失氣關(guān)閉 |
| 開(kāi)度調(diào)節(jié) | 0?90° 連續(xù)無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)；閥位反饋輸出，對(duì)接 MGCS?11 閉環(huán)控制 |
| 過(guò)流材質(zhì) | 閥體、蝶板 SUS304，內(nèi)腔電解拋光 EP，低放氣低發(fā)塵 |
| 標(biāo)準(zhǔn)密封 | FKM 氟橡膠，?25～120℃；可選 Kalrez (FFKM) 抗等離子腐蝕密封 |
| 烘烤溫度 | FKM 密封最高 120℃；Kalrez 版本最高 150℃ |
| 機(jī)械壽命 | ≥100 萬(wàn)次循環(huán) |
| 電氣選配 | 微動(dòng)開(kāi)關(guān)輸出全關(guān) / 全開(kāi)信號(hào)；閥位反饋信號(hào)接入控制器 |
| 配套控制器 | MGCS?11（主力）、MG?mini485 |
四、半導(dǎo)體 / 顯示面板典型應(yīng)用場(chǎng)景
- 面板大尺寸 PVD 濺射腔體主抽調(diào)壓G8.5/G10.5 代線(xiàn)大型鍍膜腔體，排氣流量巨大；G?J350 作為主抽節(jié)流閥，搭配 MGCS?11 + 電容薄膜規(guī) PID 閉環(huán)，穩(wěn)定濺射工藝壓力，保障薄膜厚度均勻性，減少基板不良率。
- 半導(dǎo)體中試線(xiàn)大型腔體、濺射、CVD 設(shè)備大口徑工藝腔主排氣壓力調(diào)節(jié)；注意：先進(jìn)制程量產(chǎn) Fab 顆粒嚴(yán)苛場(chǎng)景優(yōu)先選用 GAR 電動(dòng)閘板式伺服閥；G?J350 更適合中試、面板、大型鍍膜產(chǎn)線(xiàn)。
- 大型真空爐、鋰電大型脫氣腔體大流量工況下閉環(huán)穩(wěn)壓，兼顧粗抽與高真空工藝段；失氣自動(dòng)關(guān)閉，保護(hù)腔體物料。
適用邊界：G?J350 為氣動(dòng)伺服，不需要電機(jī)布線(xiàn)；但無(wú)電動(dòng)抱閘，斷電后依靠彈簧全關(guān)，無(wú)法保持當(dāng)前開(kāi)度；如果工藝要求斷電維持閥位，需要選用 GAR?J350B 電動(dòng)伺服帶抱閘型號(hào)。
五、成套閉環(huán)控制方案（標(biāo)準(zhǔn)配置）
六、供貨與選型提示
供貨狀態(tài)：G?J350 屬于大口徑特種伺服閥，國(guó)內(nèi)極少現(xiàn)貨，一般為日本原廠(chǎng)訂貨交期；可提供原廠(chǎng)規(guī)格書(shū)、氦檢報(bào)告、CE 證書(shū)；支持密封件定制（Kalrez）。
選型區(qū)分
需要?dú)庠打?qū)動(dòng)、不要電機(jī)布線(xiàn)、大腔體大流量 → G?J350（氣動(dòng)伺服）
需要斷電保持開(kāi)度、半導(dǎo)體先進(jìn)制程量產(chǎn) → GAR?J350B（電動(dòng)伺服帶抱閘）
注意：市場(chǎng)存在普通 B?J350 開(kāi)關(guān)蝶閥，無(wú)調(diào)節(jié)功能，不可混淆 G?J350 伺服調(diào)節(jié)型號(hào)。
提示：市面存在翻新二手閥，采購(gòu)務(wù)必核對(duì)本體銘牌以及原廠(chǎng)檢測(cè)資料。
