當(dāng)前位置：
MIYUKI 美幸輝 G?J100 JIS DN100 氣動(dòng)伺服真空控制蝶閥玉科原裝供應(yīng)
更新時(shí)間：2026-08-26
點(diǎn)擊次數(shù)：70
MIYUKI 美幸輝 G?J100 JIS DN100 氣動(dòng)伺服真空控制蝶閥（氣源驅(qū)動(dòng)閉環(huán)）
原裝現(xiàn)貨供應(yīng)：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司品牌負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號(hào)電商集團(tuán) 7 樓整層
型號(hào)釋義
G：G 系列 氣動(dòng)伺服調(diào)節(jié)蝶閥（氣源驅(qū)動(dòng)閉環(huán)，非電動(dòng)）
J：JIS B2290 日標(biāo)法蘭
100：公稱通徑 DN100（100A）
可定制更換法蘭：ISO?F、CF 刀口法蘭；密封可選 Kalrez 全氟醚抗等離子腐蝕密封。
結(jié)構(gòu)與工作原理
驅(qū)動(dòng)：純氣動(dòng)伺服機(jī)構(gòu)，無(wú)電機(jī)
0.4?0.6?MPa 潔凈干燥無(wú)油壓縮空氣驅(qū)動(dòng)；內(nèi)置閥位反饋電位器輸出閥位信號(hào)，外接MGCS?11 真空壓力控制器構(gòu)成 PID 閉環(huán)系統(tǒng)，自動(dòng)調(diào)整蝶板開(kāi)度穩(wěn)定腔體工藝壓力。
安全機(jī)制：?jiǎn)巫饔脧椈蓮?fù)位，失氣自動(dòng)全關(guān)
氣源丟失彈簧強(qiáng)制關(guān)閉閥門(mén)，隔離泵組與腔體，防止大氣倒灌污染基板、樣品；無(wú)斷電抱閘，失氣直接全關(guān)，不能維持當(dāng)前開(kāi)度。
緊湊超薄閥體
體積小巧，面間尺寸短，流導(dǎo)優(yōu)秀；無(wú)流向限制，水平、垂直、傾斜任意角度均可安裝，適配設(shè)備內(nèi)部狹小安裝空間。
球面多點(diǎn)雙向壓緊密封
正向、反向壓差工況均可保持低泄漏；啟閉摩擦小，低發(fā)塵，適配鍍膜、等離子潔凈工藝。
出廠檢測(cè)：百級(jí)潔凈室裝配，逐臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏。
完整技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | G?J100 JIS DN100 參數(shù) |
|---|---|
| 公稱通徑 | DN100（100A），JIS B2290 法蘭 |
| 壓力工作區(qū)間 | 1×10?Pa（常壓）～1×10??Pa 高真空 |
| 泄漏率 | 閥座內(nèi)漏 ≤1×10?? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 驅(qū)動(dòng)氣源 | 0.4?0.6?MPa，干燥潔凈無(wú)油壓縮空氣；彈簧復(fù)位失氣關(guān)閉 |
| 開(kāi)度調(diào)節(jié) | 0?90° 連續(xù)無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)；閥位反饋輸出，對(duì)接 MGCS?11 閉環(huán)控制 |
| 過(guò)流材質(zhì) | 閥體、蝶板 SUS304，內(nèi)腔電解拋光 EP，低放氣低顆粒析出 |
| 標(biāo)準(zhǔn)密封 | FKM 氟橡膠，?25～120℃；可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等離子腐蝕 |
| 烘烤溫度 | FKM 密封最高 120℃；Kalrez 版本最高 150℃ |
| 機(jī)械壽命 | ≥100 萬(wàn)次循環(huán) |
| 電氣選配 | 微動(dòng)開(kāi)關(guān)輸出全開(kāi) / 全關(guān)信號(hào)；閥位反饋信號(hào)輸出 |
| 配套控制器 | MGCS?11（主力）、MG?mini485 嵌入式控制器 |
典型應(yīng)用場(chǎng)景（通用型）
- 小型光學(xué) PVD、磁控濺射鍍膜腔體作為主抽節(jié)流閥，搭配 MGCS?11 + 電容薄膜規(guī) PID 閉環(huán)，穩(wěn)定濺射工藝壓力，保障薄膜均勻性。
- 半導(dǎo)體研發(fā) / 中試等離子、小型 ICP 刻蝕腔體中小腔體排氣調(diào)壓，補(bǔ)償進(jìn)氣、泵抽壓力波動(dòng)；
??8/12 寸先進(jìn)制程量產(chǎn) Fab，需要斷電保持開(kāi)度，優(yōu)先選用GAR?J100B 電動(dòng)伺服帶抱閘型號(hào)，G?J100 更適合研發(fā)樣機(jī)、中試設(shè)備。
- 高?？蒲姓婵諏?shí)驗(yàn)平臺(tái)、材料真空處理腔體實(shí)驗(yàn)室高真空系統(tǒng)壓力閉環(huán)調(diào)節(jié)，設(shè)備布線簡(jiǎn)單，只需要接入壓縮空氣氣源。
- 鋰電中型脫氣腔體、小型真空爐、等離子清洗腔體工藝段閉環(huán)穩(wěn)壓，失氣彈簧全關(guān)保護(hù)工件。
標(biāo)準(zhǔn)閉環(huán)控制成套方案
選型區(qū)分（G?J100 VS GAR?J100B）
| 項(xiàng)目 | G?J100（氣動(dòng)伺服） | GAR?J100B（電動(dòng)伺服） |
|---|---|---|
| 驅(qū)動(dòng) | 壓縮空氣驅(qū)動(dòng)，無(wú)電機(jī) | 伺服電機(jī)直驅(qū)，帶電磁抱閘?B |
| 失氣 / 斷電狀態(tài) | 失氣彈簧直接全關(guān) | 斷電抱閘，保持當(dāng)前開(kāi)度 |
| 適用定位 | 鍍膜、研發(fā)中試、科研、鋰電設(shè)備 | 半導(dǎo)體量產(chǎn)刻蝕、CVD 產(chǎn)線 |
| 布線 | 只需氣源，無(wú)需電機(jī)供電 | 需要供電，電機(jī)線纜布置 |
供貨與選型提示
供貨狀態(tài)：G?J100 為 G 系列通用流通型號(hào)，常備部分原裝現(xiàn)貨；CF 法蘭、Kalrez 密封定制款日本原廠訂貨；可提供原廠規(guī)格書(shū)、氦檢報(bào)告、CE 證書(shū)。
選型避坑：不可與開(kāi)關(guān)蝶閥 B?J100 混淆；B?J100 僅開(kāi)關(guān)功能，無(wú)開(kāi)度調(diào)節(jié)，不能做閉環(huán)壓力控制。
提示：市場(chǎng)存在翻新二手閥，采購(gòu)務(wù)必核對(duì)本體銘牌以及原廠檢測(cè)資料。
