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MIYUKI 美幸輝 B?C50 CF50 超高真空通斷蝶閥科研無(wú)油系統(tǒng)玉科原裝供應(yīng)
更新時(shí)間：2026-08-27
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MIYUKI 美幸輝 B?C50｜CF50 超高真空通斷蝶閥（科研無(wú)油系統(tǒng)）
原裝供應(yīng)：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司，品牌負(fù)責(zé)人林經(jīng)理 辦公地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號(hào)電商集團(tuán) 7 樓整層
型號(hào)釋義
B：兩位式氣動(dòng)開(kāi)關(guān)蝶閥，僅全開(kāi)、全關(guān)，無(wú)中間調(diào)節(jié)開(kāi)度
C：CF 刀口法蘭（超高真空法蘭，搭配無(wú)氧銅墊圈）
50：公稱通徑 CF50（DN50）
可定制：?jiǎn)巫饔脧椈蓮?fù)位（失氣自動(dòng)全關(guān)）；密封可選 Kalrez 全氟醚；可提供手動(dòng)版本。
結(jié)構(gòu)與工作原理
齒輪齒條氣缸驅(qū)動(dòng)
標(biāo)準(zhǔn)雙作用氣缸，只有 0° 全關(guān)、90° 全開(kāi)兩個(gè)機(jī)械位置，不可做 PID 調(diào)壓、不可慢抽；氣缸內(nèi)置氣墊緩沖，啟閉沖擊小，降低振動(dòng)，減少密封圈磨損，適合反復(fù)啟閉科研工況。
CF 刀口法蘭超高真空密封
法蘭刀口擠壓無(wú)氧銅墊圈實(shí)現(xiàn)金屬密封，支持高溫烘烤除氣，適配無(wú)油超高真空系統(tǒng)；閥體、蝶板 SUS304 鏡面電解拋光 EP，放氣率極低，適合表面分析、電子束、質(zhì)譜類(lèi)設(shè)備。
閥位反饋：標(biāo)配 2 路獨(dú)立微動(dòng)開(kāi)關(guān)，輸出全開(kāi)、全關(guān)無(wú)源接點(diǎn)信號(hào)，對(duì)接 PLC 實(shí)現(xiàn)聯(lián)鎖保護(hù)。
??閥體最高烘烤溫度 200℃；氣缸執(zhí)行機(jī)構(gòu)環(huán)境溫度≤40℃，嚴(yán)禁烘烤氣缸。雙作用版本斷氣保持當(dāng)前閥位；選型單作用彈簧復(fù)位，失氣自動(dòng)全關(guān)，用于安全聯(lián)鎖，防止大氣倒灌損壞分子泵。
完整技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | B?C50 CF50 參數(shù) |
|---|---|
| 公稱通徑 | CF50（DN50）刀口法蘭 |
| 真空工作區(qū)間 | 常壓～10??Pa 超高真空，雙向承壓 |
| 泄漏率 | 閥座內(nèi)漏 ≤1×10?? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠 |
| 驅(qū)動(dòng)氣源 | 0.4?0.6MPa 潔凈無(wú)油壓縮空氣；標(biāo)準(zhǔn)雙作用，可選單作用彈簧復(fù)位 |
| 閥位模式 | 僅 0° 全關(guān) /90° 全開(kāi)，無(wú)中間開(kāi)度，無(wú)慢抽功能 |
| 過(guò)流材質(zhì) | 閥體、蝶板 SUS304，內(nèi)腔鏡面電解拋光 EP |
| 標(biāo)準(zhǔn)密封 | 軸封 FKM 氟橡膠；法蘭端依靠無(wú)氧銅墊圈金屬密封；可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封 |
| 烘烤溫度 | 閥體最高 200℃；氣缸執(zhí)行器≤40℃，不可烘烤 |
| 機(jī)械壽命 | ≥100 萬(wàn)次循環(huán)，氣墊緩沖降噪 |
| 電氣信號(hào) | 2 路微動(dòng)開(kāi)關(guān)：全開(kāi)、全關(guān)閥位信號(hào)輸出 |
典型應(yīng)用場(chǎng)景（科研無(wú)油系統(tǒng)）
- 科研無(wú)油超高真空系統(tǒng)、分子泵隔離閥掃描電鏡、XPS、質(zhì)譜、電子束蒸發(fā)設(shè)備，隔離分子泵，停機(jī)保護(hù)泵組，防止大氣倒灌污染腔體；CF 金屬密封適配烘烤除氣，無(wú)油系統(tǒng)低放氣需求。
- 束線設(shè)備、小型科研腔體總隔斷腔體維護(hù)時(shí)隔離泵組，不用整套系統(tǒng)放大氣；只做通斷隔離，不參與壓力調(diào)節(jié)。
- 小型薄膜實(shí)驗(yàn)設(shè)備、小樣鍍膜、氦檢設(shè)備超高真空管路切斷，搭配旁路實(shí)現(xiàn)慢抽；本閥不具備慢抽能力，慢抽需要額外旁路閥 / BH 系列。
選型邊界區(qū)分：
B?C50（B 系列開(kāi)關(guān)蝶閥）：僅全開(kāi)全關(guān)隔離切斷，金屬刀口法蘭，科研 UHV 系統(tǒng)，無(wú)慢抽、無(wú)調(diào)壓；
BH?C50（BH 兩段緩抽閥）：全關(guān)?慢抽?全開(kāi)三機(jī)械檔位，用于需要預(yù)抽防沖擊的 CF 腔體；
BAR?C50（BAR 電動(dòng)伺服蝶閥）：0?90° 連續(xù)角度可調(diào)，搭配 MGCS?11 實(shí)現(xiàn) PID 閉環(huán)穩(wěn)壓；
G?C50（G 氣動(dòng)伺服蝶閥）：氣源驅(qū)動(dòng)連續(xù) PID 閉環(huán)調(diào)壓。
系統(tǒng)配置方案
選型對(duì)比（B?C50 VS BH?C50 VS BAR?C50）
| 項(xiàng)目 | B?C50 兩位通斷蝶閥 | BH?C50 兩段緩抽蝶閥 | BAR?C50 電動(dòng)伺服蝶閥 |
|---|---|---|---|
| 驅(qū)動(dòng) | 氣動(dòng)雙作用（可選彈簧復(fù)位） | 雙氣缸氣動(dòng)兩段式 | DC24V 伺服電機(jī)，可選?B 抱閘 |
| 閥位模式 | 只有全關(guān)、全開(kāi)兩位置 | 全關(guān)?慢抽?全開(kāi)三機(jī)械檔位 | 0?90° 連續(xù)角度可調(diào) |
| 控制能力 | 僅通斷隔離，無(wú)慢抽、無(wú) PID | 機(jī)械檔位，可慢抽，不可 PID 閉環(huán) | 配 MGCS?11 實(shí)現(xiàn) PID 閉環(huán)穩(wěn)壓 |
| 適用定位 | 科研 UHV、分子泵隔離、腔體隔斷 | CF 腔體預(yù)抽，防樣品飛濺 | 科研鍍膜，需要連續(xù)壓力閉環(huán)穩(wěn)壓 |
供貨與選型提示
供貨狀態(tài)：B?C50 CF50 超高真空蝶閥，部分現(xiàn)貨；單作用彈簧復(fù)位、Kalrez 密封版本日本原廠訂貨；可提供原廠規(guī)格書(shū)、氦檢報(bào)告、CE 證書(shū)。
選型避坑：B?C50 是純開(kāi)關(guān)閥，無(wú)慢抽、無(wú)調(diào)節(jié)功能；CF 法蘭必須配套無(wú)氧銅墊圈才能實(shí)現(xiàn)超高真空；不要和普通橡膠密封 KF 版本混淆。
提示：市面存在翻新二手閥，采購(gòu)務(wù)必核對(duì)本體銘牌以及原廠檢測(cè)資料。
