MIYUKI 美幸輝G?N63 KF63 快裝氣動伺服真空控制蝶閥玉崎科學儀器原裝供應

更新時間：2026-09-02

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MIYUKI 美幸輝 G?N63｜KF63 快裝氣動伺服真空控制蝶閥（氣源驅動閉環）

原裝現貨供應：玉崎科學儀器（深圳）有限公司
品牌負責人：林經理
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層

型號：G?N63，KF63 (NW63) 快卸法蘭氣動伺服調節蝶閥

G 系列小口徑氣源驅動伺服調節閥，無需伺服電機供電，0?90° 全行程無級開度調節；采用通用 KF 快拆法蘭，拆裝維護便捷，閥體小巧緊湊，主打小型腔體、高校實驗室、研發樣機精密真空閉環調壓，廣泛用于小型 PVD、等離子實驗腔體、材料科研、分析儀器真空管路。

可定制更換法蘭：JIS、ISO?F、CF 刀口法蘭；密封可選 Kalrez 全氟醚抗等離子腐蝕密封。

驅動：純氣動伺服機構，無電機
0.4?0.6?MPa 潔凈干燥無油壓縮空氣驅動；內置閥位反饋電位器輸出閥位信號，外接MGCS?11 真空壓力控制器組建 PID 閉環系統，自動調整蝶板開度穩定腔體工藝壓力。
安全機制：單作用彈簧復位，失氣自動全關
氣源丟失彈簧強制關閉閥門，隔離泵組與腔體，防止大氣倒灌污染樣品；無電磁抱閘，失氣直接全關，不能維持當前開度。
緊湊小型閥體，KF 快裝接口
體積小巧，占用設備空間小；KF 快卸法蘭，拆裝無需大量螺栓，檢修、更換管路便捷；無流向限制，水平、垂直、傾斜任意角度均可安裝。
球面多點雙向壓緊密封
正向、反向壓差工況均可保持低泄漏；啟閉摩擦小，低發塵，適配科研潔凈實驗工況。
出廠檢測：百級潔凈室裝配，逐臺氦質譜檢漏。

項目	G?N63 KF63 參數
公稱通徑	KF63（NW63）快卸法蘭
壓力工作區間	1×10?Pa（常壓）～1×10??Pa 高真空
泄漏率	閥座內漏 ≤1×10?? Pa?m3/s；軸封外漏 ≤1×10?1? Pa?m3/s，氦檢出廠
驅動氣源	0.4?0.6?MPa，干燥潔凈無油壓縮空氣；彈簧復位失氣關閉
開度調節	0?90° 連續無級調節；閥位反饋輸出，對接 MGCS?11 閉環控制
過流材質	閥體、蝶板 SUS304，內腔電解拋光 EP，低放氣低顆粒析出
標準密封	FKM 氟橡膠，?25～120℃；可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等離子腐蝕
烘烤溫度	FKM 密封最高 120℃；Kalrez 版本最高 150℃
機械壽命	≥100 萬次循環
電氣選配	微動開關輸出全開 / 全關信號；閥位反饋信號輸出
配套控制器	MGCS?11（主力）、MG?mini485 嵌入式控制器

高校、科研院所實驗真空腔體
材料真空處理、等離子實驗、小型鍍膜樣機；KF 快拆法蘭方便腔體拆裝改造，只需要接入壓縮空氣，不用布置電機供電線路，實驗室設備改造友好。
小型 PVD、小型等離子清洗、研發型 ICP 樣機
中小腔體排氣節流，搭配 MGCS?11 + 電容薄膜規 PID 閉環，穩定工藝等離子壓力。

??8/12 寸半導體量產產線，要求斷電保持閥位，優先選用BAR?N63 電動伺服帶抱閘型號；G?N63 氣源驅動更適合研發樣機、實驗室設備。

系統組成：G?N63 氣動伺服蝶閥 + MGCS?11 真空壓力控制器 + 電容薄膜真空規

工作流程：真空規采集腔體壓力 → MGCS?11 執行 PID 運算 →輸出氣控驅動信號調整 G?N63 蝶板開度 →動態補償泵抽、進氣擾動，鎖定工藝壓力。

MGCS?11 支持 7 組 PID 參數存儲，不同工藝工序自動切換，RS485 通訊對接上位 PLC。

表格

供貨狀態：G?N63 屬于 G 系列小口徑流通型號，常備部分原裝現貨；CF 法蘭、Kalrez 密封定制款日本原廠訂貨；可提供原廠規格書、氦檢報告、CE 證書。
選型避坑：不可與開關蝶閥 B?N63 混淆；B?N63 僅開關功能，無開度調節，不能做閉環壓力控制。

提示：市場存在翻新二手閥，采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。