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Photonic?Lattice二維雙折射 / 殘余應力分布測量系統 PA 系列詳情
更新時間：2026-09-03
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PA 系列｜低相位差?超高精度
定位：面向低雙折射、低相位差精密硬質基材；單波長 520?nm，量程0?130?nm；500 萬像素 (2056×2464)光子晶體偏振成像傳感器；非接觸無損全域面測量，3?10 秒輸出完整應力云圖；對標三鷹光器 Mitaka 低相位差機型。?注意：PA 系列不適合高相位差樹脂、厚塑膠，高應力樣品請選用 WPA 系列。
?核心技術原理
硬件基礎：自研光子晶體偏振成像陣列傳感器，無旋轉檢偏器等運動部件，無機械磨損；全部偏振信息一幀同步采集，無機械掃描延遲、無振動引入誤差。
單波長 520?nm 綠光測量技術，專為0?130nm 微弱相位差信號優化，捕捉玻璃、晶圓極微小殘余雙折射；
輸出物理量：相位差 (nm)、光軸角度 (°)；選配數據處理選件，輸入材料光彈系數后換算等效應力 (MPa)。
測量速度：3?10?s 完成一整個視場二維面成像；輸出應力云圖、線剖面曲線、ROI 區域統計、CSV 數據導出。
??全系列型號詳解
PA?300（標準臺式主機）
定位：實驗室通用臺式，玻璃、石英、晶圓、光學鏡片研發與 QC；
標準視場：約 37×44?mm ~ 100×133?mm；選配變焦鏡頭縮小至 5.5×6.6?mm 微區觀測；
傳感器像素：2056×2464（約 500 萬像素）；
重復精度：相位差 σ?1.0?nm；
本體重量約 23?kg；電源 AC100?240V 50/60Hz；
衍生子型號：
PA?300?L：大載臺版本，適配大尺寸基板，可選真空吸附樣品臺；
PA?300?XL：超大臺面，最大 A3 尺寸樣品，可直接測量 12 英寸晶圓、車載大尺寸蓋板玻璃。
PA?micro（顯微搭載微區測量機型）
對接奧林巴斯 / 尼康科研級顯微鏡；把光子晶體偏振傳感器集成到顯微鏡光路；
實現微米級微小區域雙折射 / 應力測量；觀察芯片局部、微小光學元件、TGV 玻璃通孔側壁應力、鍵合界面微區應力；
量程同樣 0?130?nm，500 萬像素；適合局部缺陷、微小器件分析。
PA?300?NIR（近紅外版本，850?nm 波長）
可見光不透明、紅外透光材料專用；量程擴展至0?213?nm
測量波長：850?nm 近紅外；
典型樣品：LiDAR 紅外光學元件、硫系玻璃、深色紅外透光基材；
硬件結構、軟件 PA?View、像素與 PA?300 保持一致。
PA?300?MT（模塊化分體單元）
光源?傳感頭與樣品臺分離；支持集成到第三方設備、工裝設備，用于半產線離線自動化檢測；對外 GigE 通訊，提供外部控制 API 接口。
??PA 系列通用核心參數
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 測量波長 | 520?nm（?NIR 版本為 850?nm 近紅外） |
| 相位差量程 | 0?130?nm；PA?300?NIR：0?213?nm |
| 傳感器像素 | 2056 × 2464（約 500 萬像素） |
| 輸出 | 相位差 (nm)、光軸角度 (°)；應力 MPa（選配數據處理功能） |
| 測量時間 | 3?10?s / 全視場 |
| 通訊接口 | GigE |
| 配套軟件 | PA?View；云圖顯示、線剖面、ROI 區域統計、視場校正、遠程 API、CSV 導出 |
| 電源 | AC100?240V 50?60Hz |
??典型適用樣品
?不適用：COP、PC 等高雙折射樹脂、厚注塑件；這類樣品相位差經常超過 130?nm，必須選用 WPA 系列。
??原廠可選配件清單
變焦鏡頭：縮小視場局部微區觀測；
數據處理選件：應力 MPa 換算（需要輸入材料光彈系數）；
真空吸附樣品臺（PA?300?L/?XL 常用，防止大基板翹曲）；
遮光罩：屏蔽環境雜光干擾；
外部控制 API 接口，對接上位機 / LIMS/MES 系統；
顯微鏡整機套件（PA?micro：奧林巴斯 / 尼康顯微鏡本體）。
??PA 系列 vs WPA 系列選型對照表
| 對比項 | PA 系列（低相位差） | WPA 系列（大位相差） |
|---|---|---|
| 測量波長 | 單波長 520?nm（NIR：850?nm） | 三波長 523/543/575?nm |
| 相位差量程 | 0?130?nm（?NIR：0?213?nm） | 0?3500?nm，選件最高 10000?nm |
| 像素 | 500 萬像素 | WPA?200：11 萬；WPA?300 提升 5 倍 |
| 典型樣品 | 玻璃、晶圓、藍寶石、SiC、石英 | COP、PC 樹脂、注塑件、導光板、光學膜 |
| 核心訴求 | 微弱殘余應力精密定量 | 高雙折射高分子材料應力分布 |
Photonic?Lattice供貨采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
