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PA?300?MT 模塊化分體式二維雙折射 / 殘余應力測量單元
更新時間：2026-09-04
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PA?300?MT 模塊化分體式二維雙折射 / 殘余應力測量單元
品牌：Photonic?Lattice（フォトニックラティス，日本）
PA?300?MT 是 PA 系列模塊化集成型測量機頭單元；光學測量性能與 PA?300 一致，光源與傳感機頭可與樣品臺分離；主打設備嵌入、半在線 / 離線自動化工位集成，既可以簡易臺式使用，也可集成到客戶工裝、自動化設備；500 萬像素，面向低相位差精密基材無損面測量，3?10 秒輸出全域雙折射云圖。
核心原理
像素級光子晶體偏振陣列傳感器，無旋轉檢偏器運動部件；單波長520?nm 綠光，針對 0?130?nm 微弱相位差信號優化；輸出相位差 (nm)、光軸角度 (°)；選配數據處理選件輸入光彈系數換算等效應力 MPa
關鍵技術參數
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 測量波長 | 520?nm 綠光 |
| 相位差量程 | 0?130?nm |
| 傳感器像素 | 2056?×?2464（約 500 萬像素） |
| 標準鏡頭視場 | 約 37×44?mm；選配變焦鏡頭：7.0×8.4?mm～20.0×24.0?mm 微區觀測. |
| 重復精度 | 相位差 σ?1.0?nm |
| 測量時間 | 3?10?s / 全視場 |
| 輸出 | 相位差 (nm)、光軸角度 (°)；應力 MPa（選配） |
| 軟件 | PA?View；云圖、線剖面、ROI 統計、CSV 導出、外部控制 API |
| 傳感頭尺寸 (W×D×H) | 160?×?190?×?316?mm |
| 傳感頭重量 | 約 4.0?kg（機頭輕量化，便于機構安裝） |
| 接口 | GigE；提供外部控制 API；電源 AC100?240V 50?60Hz |
?主要特點
光源?傳感頭可與樣品臺分離：區別 PA?300 一體化臺式；機頭可倒裝、側裝，集成至客戶自動化工裝、機械手工位、半在線檢測工位；樣品臺可由客戶自有運動機構提供株式會社フ...。
完整繼承 PA 系列 500 萬像素高靈敏度，適合玻璃、晶圓微弱殘余雙折射定量檢測；快照式成像，無運動光學部件，適合工業環境長期穩定運行。
支持變焦鏡頭，兼顧全域檢測與局部微區觀測。
開放外部控制 API 接口：支持上位機觸發測量、獲取測量結果，對接 PLC、MES、用戶自動化軟件；支持實時解析功能選件。
兩種使用形態：①配套簡易底座做實驗室臺式；②拆除底座，機頭直接集成客戶設備。
?單波長機型，不支持三波長、不支持高位相差擴展；樣品相位差上限 130?nm；高相位差集成場景選用 WPA?300?MT。
??典型應用樣品
?半導體：石英掩模板、玻璃晶圓、藍寶石、SiC 襯底自動化工位檢測；?光學玻璃：蓋板玻璃、光學鏡片批量離線抽檢工位；?自動化設備集成：自動化治具、機械手上下料工位、半產線離線質檢站；?精密光學元件成型后殘余應力自動化評估。
??選型提示
實驗室獨立桌面使用：優先標準 PA?300 / PA?300?L；
需要嵌入客戶工裝、自動化設備：選用PA?300?MT；
近紅外集成測量：無 MT?NIR 型號，需要 PA?300?NIR 機頭定制；
微區顯微集成：選用 PA?micro?S；
產線連續走帶薄膜檢測：選用 KAMAKIRI 系列線掃描機型。
??原廠可選配件
變焦鏡頭、應力 MPa 數據處理選件、視場校正功能、鏡頭分析功能、實時解析功能、外部控制 API 接口、遮光罩、鏡片測量專用樣品臺株式會社フ...
Photonic?Lattice日本供貨采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
