MIYUKI 美幸輝 BAR?J100｜JIS DN100 經濟型電動伺服蝶閥（鍍膜 / 鋰電常規工藝）

原裝現貨供應：玉崎科學儀器（深圳）有限公司品牌負責人林經理 詳細辦公地址（廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層）

型號釋義

• BAR：蝶板式電動伺服真空調節閥（經濟型，蝶板置于流道內；對比 GAR 升降閘板式）

• J：JIS B2290 日標法蘭

• 100：公稱通徑 DN100（100A）

• ?B（可選）：選配電磁抱閘，斷電鎖止閥位；標準款無抱閘，斷電閥位自由浮動

可定制：ISO?F、KF、CF 刀口法蘭；密封可選 Kalrez (FFKM) 全氟醚適配等離子腐蝕工況。

結構與工作原理

1. 伺服直驅蝶板式結構

   DC24V 伺服電機直驅蝶板，無齒輪間隙，0?90° 角度連續可調；蝶板始終處于氣流通道內部；結構緊湊，整機體積小，成本優于 GAR 閘閥系列；減少滑動摩擦部件，顆?？刂茲M足工業常規工藝，不及 GAR 閘板等級。

2. 抱閘選項說明

• 標準 BAR?J100：無電磁抱閘，斷電閥位自由浮動，不鎖止；

• BAR?J100?B：選配內置電磁抱閘，斷電鎖止當前開度，防止壓力突變，適合不能允許閥位漂移的產線。

1. 信號接口：0?10V /4?20mA 模擬量、閥位反饋輸出、RS485 通訊；搭配MGCS?11 真空控制器組成 PID 閉環壓力控制系統。

2. 裝配檢測：百級潔凈室裝配，逐臺氦質譜檢漏出廠；無流向限制，水平、垂直任意角度可安裝。

??閥體支持烘烤除氣；伺服電機頭部環境溫度≤40℃，嚴禁烘烤電機組件。

完整技術參數

典型應用場景（鍍膜 / 鋰電常規工藝）

1. 工業 PVD 磁控濺射、光學鍍膜腔體

   搭配 MGCS?11 + 電容薄膜規 PID 閉環，穩定常規鍍膜工藝壓力；適合面板、普通光學鍍膜，對顆粒要求不是最嚴苛的工況；相比 GAR 閘閥，降低設備采購成本。

??8/12 寸半導體先進制程量產，極低顆粒要求，優先選用GAR?J100B 閘板式伺服閥。

1. 鋰電真空脫氣、鋰電烘烤量產腔體中等腔體排氣節流調壓，穩定真空工藝壓力；選配?B 抱閘版本，斷電鎖止閥位，保護鋰電極片避免大氣倒灌氧化。
2. 中試等離子清洗、研發樣機、材料真空處理設備中小腔體閉環調壓，設備預算有限，追求伺服電動調壓，不想使用氣動 G 系列（需要氣源）。

標準閉環控制成套方案

選型橫向對比（BAR?J100?B VS G?J100 VS GAR?J100B）

供貨與選型提示

1. 供貨狀態：BAR?J100 為 BAR 系列流通主力經濟型型號，部分現貨；?B 抱閘版本、CF 法蘭、Kalrez 密封為定制，日本原廠訂貨；可提供原廠規格書、氦檢報告、CE 證書。

2. 選型避坑：不可與普通開關蝶閥 B?J100 混淆；B?J100 僅開關，無開度調節，不能做閉環壓力控制；標準 BAR?J100 無抱閘，需要斷電鎖止必須指定?B 后綴。

提示：市場存在翻新二手閥，采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。