SMP 超級無脈動計量泵 入口過濾器選型指南

SMP 柱塞?缸套、單向閥配合間隙極小，雜質一旦進入泵頭，直接劃傷柱塞、缸套、密封、閥座，造成精度下降、密封快速失效、大修；過濾器安裝在泵吸入側（泵的上游），嚴禁裝在泵出口側。 核心矛盾：精度太高→吸入阻力大，誘發氣蝕；精度太低→擋不住雜質，泵損壞。

一、過濾精度選擇（關鍵）

SMP 沒有固定微米，按工況分三檔：

普通化工、溶劑、潔凈藥液（絕大多數場景）：10?~?20?μm可以攔截絕大多數磨損性顆粒，同時兼顧吸入阻力。

半導體電子化學品、光刻配套、超高潔凈工藝：1?5?μm

??高精度濾芯阻力大，必須放大過濾面積；優先正壓進料，不適合負壓吸入，否則極易氣蝕。

介質雜質較多、管路容易析出微量結晶：優先前置粗濾（50?100?μm）+ 泵前精濾（10?20?μm）兩級過濾。

?禁忌：不要用＜1?μm 濾芯直接做泵前吸入過濾，阻力過大，極易氣蝕，泵流量漂移、噪音大。 ?禁忌：只用 80?100μm 粗濾網，微小硬質顆粒依然可以進入，慢慢磨壞柱塞密封副。

二、流量與通徑選型

過濾器額定流量 ≥泵最大流量的 1.5?3 倍，降低流速，壓低壓差，避免吸入阻力過高導致氣蝕。

過濾器殼體通徑≥泵吸入管口通徑，建議放大一檔，不要縮小管路；小流量 HYM 系列也不要把過濾器做的過小。

初始壓差：常溫清潔介質，過濾器初始壓差建議＜0.02?MPa；堵塞報警壓差設定0.05?0.08?MPa，達到報警就要更換 / 清洗濾芯，繼續運行會發生氣蝕損傷泵頭。

三、殼體與濾芯材質（必須與介質、溫度兼容）

殼體

普通溶劑、油品：SUS316L

強酸強腐蝕：PFA 襯里、PVDF、PTFE 殼體

濾芯濾材

金屬燒結濾芯（SUS316L、哈氏合金）優點：耐高溫、可反復清洗再生，適合溶劑、油類； 缺點：不能用于半導體金屬離子敏感工藝，會析出微量金屬。

PTFE/PFA 折疊濾芯適合強酸、強溶劑、半導體藥液；不可清洗，一次性使用。

PP 濾芯：適合水相，不耐強溶劑。

注意：濾芯 O 圈材質同樣需要匹配介質（FKM / FFKM?Kalrez），避免溶脹脫落產生二次雜質。

四、過濾器結構形式怎么選

濾芯式（卡箍 / 222 接口）——SMP 最推薦適合絕大多數 SMP（HYM/HYSA/HYSD）半導體、精細化工、制藥；精度選擇靈活；建議選快開殼體，方便更換濾芯。

籃式過濾器適合雜質較多工況，濾網可清洗；但很難做到 10?20μm 高精度，一般作為前置粗濾。

Y 型過濾器多用于大口徑管路，濾網精度有限，一般只做粗過濾，不建議單獨作為 SMP 保護過濾器。

?連續 24h 量產系統建議：過濾器增加旁路三通，可以在線切換，不停機更換濾芯。

五、安裝要點（非常容易踩坑）

安裝位置：儲液罐之后，泵吸入閥之前，距離泵入口 0.5?1m，不要離泵太遠，管路不要出現高點積氣囊。

過濾器殼體需要設置排氣口，每次開機前排氣；過濾器內部不能積存氣體。

強烈建議配置壓差表 / 壓差開關，壓差超標報警；不要靠肉眼估測濾芯堵塞；濾芯堵塞不會立刻肉眼看出來，但吸入阻力上升直接造成氣蝕。

新系統投運前，先旁路過濾器，對整個管路循環沖洗，把焊渣、鐵銹全部沖干凈，再切入過濾器?泵系統，防止新管路雜質直接擊穿濾芯進入泵頭。

易結晶介質：過濾器需要做保溫，停機后要對過濾器做溶劑沖洗，防止結晶堵塞濾芯。

盡量采用正壓倒灌進料，過濾器負壓工況下，對壓差更敏感，更容易氣蝕。

六、禁止的錯誤做法

?過濾器裝在泵出口，起不到保護泵頭的作用。 ?盲目追求超高精度（0.22μm、0.45μm）直接做吸入過濾，阻力大，氣蝕、流量不足。 ?只裝 Y 型粗濾網，沒有精濾，微小顆粒磨損柱塞密封。 ?沒有壓差監測，濾芯堵死，泵干磨損壞。 ?過濾器選型通徑小于泵吸入管口，人為加大吸入阻力。

七、典型配置

示例 1：半導體藥液，HYSA 系列工業泵，潔凈溶劑

正壓進料；濾芯式過濾器；PFA 殼體 + PTFE 濾芯；精度 10?μm；流量≥泵最大流量 2 倍；帶壓差報警。

示例 2：實驗室小試 HYM 系列，潔凈有機溶劑

濾芯式過濾器 SUS316L 殼體，金屬燒結濾芯 10?20?μm；壓差監測。

示例 3：介質容易析出微量結晶

兩級過濾：前置籃式粗濾 50?μm + 泵前的 10?20?μm 精濾；過濾器帶保溫，停機溶劑沖洗

供貨采購渠道

玉崎科學儀器（深圳）有限公司  原裝現貨供應

地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學

項目負責人：林經理