JULABO 優萊博 MAGIO 系列：溫控平臺在半導體、新材料與精密測試中的應用

一、旗艦定位：MAGIO 系列的技術底座

MAGIO 是 JULABO 優萊博目前溫控產品線中的旗艦系列，涵蓋加熱循環器、加熱制冷循環器、橋式循環器及超低溫機型，工作溫度范圍覆蓋 -90 °C 至 +300 °C，加熱功率最高可達 3 kW。與 CORIO 系列定位于常規溫控、DYNEO 系列面向精密實驗流程不同，MAGIO 系列的設計目標是在 外部動態溫控、溫度模擬和高精度校準三個維度上同時達到水準。

這一目標體現在幾個核心技術特征上：

±0.01 °C 的溫度穩定性（符合 DIN 12876-2 標準），配合智能級聯控制（Intelligent Cascade Control）技術，系統可自動優化 PID 參數，在外部應用條件下仍能保持 ±0.05 °C 的外部穩定性。設備搭載同類產品中強的壓力/抽吸離心泵，流速 16 至 31 L/min，壓力 0.24 至 0.92 bar，吸力 -0.03 至 -0.4 bar，且泵功率無級可調，可根據外部回路阻力靈活適配。

在接口層面，MAGIO 標配 USB、RS232/RS485、以太網（集成 Modbus TCP/IP）、外部 Pt100 接口及電磁閥控制接口，模擬量模塊可選配，為設備集成到自動化流程和過程控制系統提供了完整通路。

二、半導體制造中的溫控應用

半導體制造對溫度控制的精度要求極為苛刻，而不同工藝環節對溫控的需求又各有側重。MAGIO 系列在半導體領域的應用主要集中在以下幾個環節。

2.1 濕化學蝕刻與晶圓加工

在半導體濕化學蝕刻工藝中，蝕刻速率對溫度高度敏感，即使極小的溫度波動也可能改變蝕刻均勻性和關鍵尺寸（CD）的精度。MAGIO 系列通過外循環方式為蝕刻槽提供恒溫浴液，其 ±0.01 °C 的溫度穩定性和低液位自動保護功能，確保長時間批處理過程中的溫度一致性。天然制冷劑版本的使用也符合半導體潔凈廠房對環保和安全的要求。

2.2 CVD 與薄膜沉積過程溫控

化學氣相沉積（CVD）過程中，基片溫度和反應腔體溫度的精確控制直接決定薄膜的均勻性和致密性。JULABO 溫控系統（包括加熱制冷循環器和動態溫控系統）被用于 CVD 工藝的溫度控制，能夠模擬外部條件波動并精確調節熱傳導流體的性能。MAGIO 系列憑借高達 3 kW 的加熱功率和強的泵送能力，可以快速響應 CVD 過程中的溫度調整需求，縮短工藝切換時間。

2.3 光伏電池與太陽能材料研究

在太陽能電池研發和光伏組件制造中，溫度控制貫穿于材料沉積、性能測試和可靠性評估等環節。JULABO 的溫控設備被用于光伏太陽能板制造中的溫度管理，以及太陽能熱發電（CSP）測試中傳熱流體的性能優化。MAGIO MS 系列緊湊的設計和寬廣的溫度范圍使其能夠在實驗室規模的太陽能材料研究中提供穩定的溫控條件。

三、新材料研發與測試中的溫控應用

3.1 復合材料固化與性能測試

新材料研發中，混凝土、水泥和復合材料等建筑材料的性能對固化溫度和養護環境高度敏感。JULABO 循環器可為材料模擬真實使用條件提供精確的熱管理，確保材料滿足耐久性和性能標準。MAGIO 系列在此類應用中的優勢在于：寬廣的溫度范圍可覆蓋從低溫養護到高溫固化的全流程；內置程序控溫功能（支持 8×60 段溫度程序）可實現復雜的溫度曲線模擬，如階梯式升溫固化或多周期溫度循環試驗。

3.2 環境模擬與條件測試

MAGIO 制冷循環器被廣泛應用于環境模擬和材料及部件測試領域。對于需要在溫度條件下評估性能的新材料——如航空航天用輕質合金、新能源汽車電池材料或柔性電子基底——MAGIO MS-1000FF 超低溫機型可將工作溫度下限延伸至 -90 °C，適用于極低溫環境下的材料行為研究。設備大的壓力/抽吸泵確保即使外部測試腔體存在較大管路阻力，仍能維持穩定的循環流量和溫度均勻性。

3.3 反應過程溫控與新材料合成

新材料的合成往往涉及放熱或吸熱反應，反應溫度的精確控制直接影響產物結構和性能。MAGIO 系列配備的 TCF 特色溫度控制功能允許用戶設定內外溫差極限和功率極限，在聚合反應、溶膠-凝膠合成或納米材料制備過程中，防止因溫度過沖導致產物缺陷。大尺寸 TFT 觸摸屏和導航式菜單使研究人員能夠快速切換控溫策略，無需繁瑣的參數設定流程。

四、精密測試與校準中的溫控應用

精密溫度校準是 MAGIO 系列具代表性的應用場景之一。傳感器、測量設備和溫度計的校準要求溫源本身具有高的溫度穩定性和均勻性，而 MAGIO 循環器正是以此為核心設計目標。

4.1 傳感器與測量設備校準

MAGIO 循環器具有 ±0.01 °C 的溫度穩定性（符合 DIN 12876-2），使其成為傳感器、測量設備和溫度計校準的理想平臺。設備的 ATC10 功能支持在 10 個獨立溫度點對溫度傳感器進行調節，補償因環境溫度變化、振動、濕度或材料疲勞引起的偏差，確保傳感器在整個使用壽命內保持最佳工作狀態。

4.2 安全關鍵領域的溫度校準

在醫療技術和汽車工程等安全關鍵領域，溫度測量的準確性直接關系到產品安全。MAGIO 循環器能夠按照許多法規和標準的要求進行定期溫度校準，為質量保證和標準合規提供技術支持。設備的內部程序控溫功能可預設校準溫度序列，配合外部 Pt100 傳感器接入，實現對被測設備點位的直接溫度控制。

4.3 校準槽的擴展能力

對于需要更高校準精度的場景，MAGIO MS 系列可配合 JULABO 的校準槽附件使用。校準槽內部采用溢流筒結構，通過溢流筒置于浴槽內部的方式保證溫度均勻性和穩定性，穩定性可達 ±0.005 °C。多種長度的外部 Pt100 傳感器可根據不同的校準需求進行選配。

4.4 分析儀器配套恒溫

在精密分析測試中，旋光儀、折光儀、粘度計、光度計等儀器的測量結果對溫度波動極為敏感。MAGIO 系列通過外循環為這些儀器提供穩定的恒溫介質，消除環境溫度波動對測量精度的影響。設備可集成的模擬量接口和 Modbus TCP/IP 通訊協議，使其能夠方便地接入實驗室信息管理系統或自動化分析平臺。

五、典型型號選型參考

針對上述應用領域，MAGIO 系列提供了差異化的型號選擇：

MX-2500F 是 MAGIO 系列中性能強的實驗室循環器之一，在 20 °C 時制冷功率達 2.57 kW，加熱功率 3 kW，配備 R1270 天然制冷劑（GWP=2），能源效率較傳統方案有顯著提升。對于需要在寬溫度范圍內快速升降溫的半導體工藝模擬和材料測試，該型號具有明顯的性能優勢。

六、小結

MAGIO 系列在半導體、新材料和精密測試三個應用領域的技術價值，集中體現在三個層面：動態溫控能力——通過大的壓力/抽吸泵和智能級聯控制，在外部應用中維持 ±0.05 °C 的穩定性；條件覆蓋——從 -90 °C 超低溫到 +300 °C 高溫，配合可編程溫度曲線滿足復雜溫度序列模擬；校準精度保障——±0.01 °C 的溫度穩定性和 ATC10 多點校準功能，為精密測量和標準合規提供技術基礎。對于需要在這些領域實現高精度、高可靠性和高自動化程度溫控的用戶，MAGIO 系列提供了目前 JULABO 產品線中最為完整的解決方案

七、供貨采購渠道

玉崎科學儀器（深圳）有限公司  原裝現貨供應

地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學

項目負責人：林經理