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玉科到貨：EBARA 荏原 EV?PA250 小型風(fēng)冷干式羅茨真空泵
更新時(shí)間：2026-08-18
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到貨公告
各位客戶、合作伙伴：大家好！
我司新一批EBARA 荏原 EV?PA250 小型風(fēng)冷干式羅茨真空泵 已完成入庫、檢驗(yàn)、上架工作，目前庫存充足，可正常接單、發(fā)貨。
EBARA 荏原 EV?PA250 小型風(fēng)冷干式羅茨真空泵
EV?PA250：單相寬電壓 100?230V，無油風(fēng)冷干泵，EV?PA 系列最小機(jī)型；定位小腔體、實(shí)驗(yàn)室、儀器配套前級(jí)泵；無需冷卻水，可直接普通 220V 市電使用
核心規(guī)格參數(shù)
| 項(xiàng)目 | EV?PA250 |
|---|---|
| 泵類型 | 多級(jí)非接觸羅茨干式無油真空泵 |
| 抽速 | 230 L/min；氣鎮(zhèn)開啟 200 L/min |
| 極限真空 | 0.5 Pa（氣鎮(zhèn) OFF）；2.0 Pa（氣鎮(zhèn) ON） |
| 最大水蒸氣處理量 | 約 120 g/h（氣鎮(zhèn)開啟） |
| 進(jìn)氣接口 | NW25 KF 快裝 |
| 排氣接口 | NW25 KF 快裝 |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷，不用冷卻水 |
| 供電 | 單相 AC100?230V，50/60Hz，電壓允許 ±10% |
| 電源容量 | 0.45 kVA |
| 極限真空運(yùn)行功率 | 0.24?kW；峰值 0.38?kW |
| 噪音 | 55 dB (A)（1 米） |
| 外形 W×D×H | 189 × 412 × 272?mm |
| 整機(jī)重量 | 16?kg，帶便攜提手 |
| IO 通訊 | 面板狀態(tài)燈；遠(yuǎn)程啟停 / 報(bào)警輸出；可選 RS485 通訊模塊 |
| 標(biāo)配 | 內(nèi)置氣鎮(zhèn)閥、進(jìn)氣過濾器 |
| 認(rèn)證 | CE、SEMI?S2、NRTL |
核心特點(diǎn)
無油、非接觸轉(zhuǎn)子，無碳?xì)浞涤停瑵崈粽婵眨晦D(zhuǎn)子無接觸磨損，密封件免更換，長(zhǎng) MTBF 壽命。
風(fēng)冷免水，無需水冷管路，無塵室、臺(tái)式擺放，無漏水風(fēng)險(xiǎn)。
寬電壓?jiǎn)蜗啵瑖鴥?nèi) 220V 直接使用，不需要三相供電；體積小巧輕便，可移位。
自帶氣鎮(zhèn)閥，處理少量水汽；不適合強(qiáng)腐蝕工藝氣體，可選氮?dú)獯祾咛准?/span>。
支持 PLC 遠(yuǎn)程啟停、故障報(bào)警；RS485 為選配件。
定位：前級(jí)粗抽泵，不能直接獲得高真空，需要搭配分子泵。
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體：小型 Load?lock、晶圓檢測(cè)臺(tái)、微型腔體前級(jí)泵
科研：SEM、質(zhì)譜、檢漏儀配套、小型真空腔體、真空脫泡、樣品干燥
儀器 OEM 配套，間歇抽真空工況
我司將持續(xù)保障貨源穩(wěn)定、供貨及時(shí)，竭誠為大家提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)。
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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
2026年 08月18日
