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更新時間:2026-09-10
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到貨公告
各位客戶、合作伙伴:大家好!
我司新一批ULVAC 愛發科的 DIS-90 是一款雙繞式渦旋干式真空泵無油干泵已完成入庫、檢驗、上架工作,目前庫存充足,可正常接單、發貨。
泵體結構:采用 1個動渦旋盤 + 2個定渦旋盤 的復合渦旋結構,通過偏心運動形成連續變化的密閉壓縮腔,實現無油、無金屬摩擦接觸的潔凈抽氣。
抽氣速度:
50Hz:90 L/min
60Hz:108 L/min
極限壓力:≤ 5 Pa
電機規格:單相,150W,4極電容啟動,支持 100/115/200/230V 多種電壓。
接口尺寸:吸氣口 KF25,排氣口 KF16。
物理尺寸:214(W) × 308(L) × 225(H) mm,整機重量僅 14 kg,自帶提手,便于移動和集成。
無油潔凈:泵腔內無潤滑油,杜絕返油風險,不會污染樣品、光學元件或精密腔體,性能優于傳統油旋片泵。
空氣吹掃 (Air Flush):標配空氣沖洗接口,通入少量干燥空氣可有效抑制泵腔內水汽凝結,并有助于恢復極限真空度。
低振動低噪音:渦旋運轉極其平穩,噪音 ≤52dB(開啟AF)/ ≤57dB(關閉AF),振動遠小于活塞式干泵,非常適合精密分析儀器。
運維可視化:標配運行計時表,可直觀記錄運行時長,便于規劃密封件等耗材的保養周期;內置自動復位熱保護器,防止電機過熱。
寬壓啟動:可直接從大氣壓啟動,無需預抽,常作為渦輪分子泵(TMP)的標準前級泵。
分析儀器:氦質譜檢漏儀、質譜儀、SEM掃描電鏡、表面分析設備的前級泵。
半導體/光學:小型鍍膜設備、Load-Lock預抽室、晶圓小型真空載臺。
實驗室真空:小型真空腔體、樣品脫氣、真空干燥、氣體回收系統。
通用精密設備:小型等離子設備、科研真空實驗裝置。
嚴禁抽吸物:不可抽吸大量粉塵、有機溶劑蒸汽、強酸、鹵素氣體或液態水。僅允許微量水汽,長時間含水工況必須持續開啟空氣吹掃。
前端過濾:進氣口前端務必加裝粉塵過濾器,固體顆粒會刮傷渦旋密封面,導致真空惡化甚至泵體損壞。
使用環境:僅限室內使用,環境溫度 5~40℃,避免雨淋、水濺或戶外安裝。
冷卻方式:采用風冷設計,無需連接冷卻水,安裝更靈活。
| 特性 | 規格描述 |
|---|---|
| 型號 | DIS-90 |
| 品牌 | ULVAC (愛發科) |
| 泵類型 | 雙繞式渦旋干式真空泵 |
| 抽速 (50/60Hz) | 90 / 108 L/min |
| 極限壓力 | ≤ 5 Pa |
| 電機功率 | 150W (單相) |
| 接口 | 吸氣 KF25 / 排氣 KF16 |
| 噪音 | ≤52dB (AF開) / ≤57dB (AF關) |
| 重量/尺寸 | 14 kg / 214×308×225 mm |
| 冷卻方式 | 風冷 |
| 標配功能 | 運行計時表、Air Flush、熱保護 |
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品牌負責人:林經理
玉崎科學儀器(深圳)有限公司
2026年9月10日