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EBARA 荏原 EST100WN 螺桿式干式真空泵（加強防腐型）玉崎科學原裝供應
更新時間：2026-06-11
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EBARA 荏原 EST100WN 螺桿式干式真空泵（加強防腐型）
核心定位：重工業級、高腐蝕 / 高粉塵 / 高溫制程專用干泵，半導體 / 光伏 / 化工常用。
荏原EST100WN螺桿式干式真空泵
一、型號含義
EST：系列名（螺桿干式真空泵）
100：抽速 10,000 L/min（≈167 L/s）
WN：加強防腐（W = 耐 HF / 高鹵素，N=Ni 基合金 + PFA 內襯）
二、關鍵規格（50/60Hz）
抽氣速度：10,000 L/min
極限真空：≤0.4 Pa
額定功率：5.5 kW
冷卻方式：水冷（5–8 L/min）
進氣法蘭：DN50（NW50）
排氣法蘭：NW40
重量：約330 kg
電源：3φ AC200–480V
三、核心特點
強防腐能力：轉子鎳基合金、腔體 PFA 特氟龍內襯，耐 HF、高濃度鹵素、大量粉塵。
高溫防沉積：泵體主動控溫，反應副產物（如 NH?Cl）不冷凝、不附著。
大抽速 + 高穩定性：10,000 L/min，適配 CVD、刻蝕、ALD、擴散等高負載制程。
智能控制：轉速自動調節、LCD 可編程控制器、預警 / 報警存儲。
全干運行：無油無水，無污染、易維護。
四、應用場景
半導體：CVD、PECVD、刻蝕、ALD、擴散
光伏：硅片制程、薄膜沉積
化工：腐蝕性氣體、高溫反應、粉塵環境
五、同系列對比（常用型號）
| 型號 | 抽速 (L/min) | 極限真空 (Pa) | 功率 (kW) | 防腐等級 |
|---|---|---|---|---|
| EST10N | 1,000 | ≤2.7 | 2.3 | 標準 (Ni-P) |
| EST25N | 2,500 | ≤0.4 | 3.0 | 標準 (Ni-P) |
| EST100WN | 10,000 | ≤0.4 | 5.5 | 加強 (PFA + 鎳基合金) |
| EST200WN | 20,000 | ≤0.4 | 7.5 | 加強 |
六、維護要點
定期檢查水冷流量與溫度
按周期更換軸承 / 密封件
氮氣吹掃系統維護（防腐蝕）
控制器參數校準與報警記錄分析
七、 采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
