EBARA 荏原 EST25N（高溫防腐螺桿干式真空泵）

? 定位與用途

• 核心定位：處理高粉塵、強(qiáng)酸 / 鹵素、大量固態(tài)副產(chǎn)物的重載真空制程。

• 典型場(chǎng)景：半導(dǎo)體 CVD/ALD/ 蝕刻 / 擴(kuò)散、光伏、LED、化工反應(yīng)釜。

• 設(shè)計(jì)關(guān)鍵：泵體主動(dòng)控溫（高溫運(yùn)行），防止副產(chǎn)物（如 NH?Cl）冷凝結(jié)塊，抗堵、長(zhǎng)壽命。

? 核心參數(shù)（EST25N）

• 抽氣速度：2,500 L/min（50/60Hz 不變）

• 極限真空：0.4 Pa

• 額定功率：3.0 kW

• 重量：約 180 kg

• 冷卻方式：全水冷，流量 5–8 L/min（進(jìn)水≤30℃）

• 進(jìn)氣法蘭：NW40

• 材質(zhì)：標(biāo)準(zhǔn)鎳合金 / 鎳涂層，強(qiáng)防腐

• 認(rèn)證：SEMI?S2、CE、NRTL（半導(dǎo)體安全級(jí)）

? 荏原干泵產(chǎn)品線區(qū)別（快速分清）

• EV?S：風(fēng)冷羅茨 → 潔凈、輕載、低腐蝕

• EV?X：中小型螺桿 → 通用、中腐蝕

• EV?M：水冷羅茨 → 富氫、重載

• EST：水冷螺桿 + 高溫恒溫 + 強(qiáng)防腐 → EST25N 屬于此系列，重制程

? 特點(diǎn)總結(jié)

• ? 高溫防堵：泵內(nèi)恒溫，副產(chǎn)物不冷凝、不沉積

• ? 強(qiáng)耐腐蝕：鎳基合金 + 涂層，耐受 Cl?、HCl、HF 等

• ? 大抽速 + 高真空：2500 L/min、0.4 Pa，適合大腔體 / 快速抽氣

• ? 電源通用：50/60Hz 抽速不變，全球適用

• ? 智能控制：LCD 面板、預(yù)警 / 報(bào)警存儲(chǔ)、可編程

一句話：EST25N = 荏原 2.5m3/min 級(jí)、半導(dǎo)體 CVD 用高溫防腐干式真空泵。

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