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當(dāng)前位置:首頁(yè)技術(shù)文章玉科原裝日本FLUORO福樂(lè)晶圓缺口平邊對(duì)準(zhǔn)器手動(dòng)預(yù)對(duì)準(zhǔn)器用于半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室

玉科原裝日本FLUORO福樂(lè)晶圓缺口平邊對(duì)準(zhǔn)器手動(dòng)預(yù)對(duì)準(zhǔn)器用于半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室

更新時(shí)間:2026-08-17點(diǎn)擊次數(shù):120

玉科原裝現(xiàn)貨日本 FLUORO 福樂(lè)晶圓缺口平邊對(duì)準(zhǔn)器手動(dòng)預(yù)對(duì)準(zhǔn)器半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室中試產(chǎn)線廣泛使用


供貨渠道:玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng) 品牌負(fù)責(zé)人:林經(jīng)理 地址:廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號(hào)電商集團(tuán) 7 樓整層

產(chǎn)品概述

日本 FLUORO 福樂(lè)手動(dòng)晶圓對(duì)準(zhǔn)器分為兩大系列:

  • MFNA 系列Notch 缺口晶圓專用,識(shí)別晶圓缺口定位

  • MFA?B 系列Flat 平邊(定向邊)晶圓專用,識(shí)別平邊定位

純機(jī)械式手動(dòng)設(shè)備,無(wú)需電源、無(wú)需氣源;放置于潔凈工作臺(tái),用于貼膜、研磨、劃片切割、探針測(cè)試前,把晶圓缺口 / 平邊旋轉(zhuǎn)統(tǒng)一至指定角度,消除人工對(duì)位誤差;防靜電、低發(fā)塵,半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室、中試產(chǎn)線廣泛使用。

核心材質(zhì)與設(shè)計(jì)特點(diǎn)

  1. 防靜電性能:滾輪與接觸部件采用導(dǎo)電 MC 尼龍,體積固有電阻 10?Ω/cm,有效泄放靜電,避免器件靜電損傷。

  2. 低發(fā)塵潔凈設(shè)計(jì):插入式精密軸承,減少摩擦產(chǎn)塵,適配 Class100?1000 潔凈室;無(wú)金屬直接接觸晶圓,避免硅片、鍍膜層劃傷。

  3. 插拔快拆滾輪:滾輪模塊可直接拔插拆卸,便于無(wú)塵清洗、更換備件,維護(hù)簡(jiǎn)單,無(wú)膠水析出污染風(fēng)險(xiǎn)。

  4. 定位撥桿:帶方向切換撥桿,可快速切換缺口 / 平邊的目標(biāo)朝向。

  5. 桌面小型化,重量輕,直接擺放工作臺(tái),不需要復(fù)雜安裝。

  6. 定位精度:±1° 以內(nèi),滿足常規(guī)半導(dǎo)體工藝預(yù)對(duì)準(zhǔn)需求。

主力型號(hào)參數(shù)表

??缺口對(duì)準(zhǔn)器 MFNA?系列(Notch 缺口)

型號(hào)適配晶圓外形 W×D×H (mm)重量
MFNA?2008 英寸(200mm)缺口晶圓290×190×1431.8?kg
MFNA?30012 英寸(300mm)缺口晶圓定制大尺寸3.2?kg

??平邊對(duì)準(zhǔn)器 MFA?B 系列(Flat 平邊)

型號(hào)適配晶圓
MFA?50B2 英寸
MFA?75B3 英寸
MFA?100B4 英寸
MFA?125B5 英寸
MFA?150B6 英寸
MFA?200B8 英寸
重點(diǎn)區(qū)分:MFNA?200 = 缺口 Notch;MFA?200B = 平邊 Flat,二者不可混用

電動(dòng)自動(dòng)款(產(chǎn)線自動(dòng)化工位)

  1. ANA?200:8 寸電動(dòng)缺口對(duì)準(zhǔn)器,電機(jī)自動(dòng)搜索缺口定位,外接 220V 供電,適合連續(xù)量產(chǎn)工位。

  2. AFA?150L:6 寸電動(dòng)平邊對(duì)準(zhǔn)器。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

  1. 半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)打樣、小批量中試線

  2. 晶圓貼膜、研磨、劃片切割前預(yù)定位

  3. 探針臺(tái)、檢測(cè)設(shè)備上料前角度統(tǒng)一

  4. 硅片、碳化硅、化合物半導(dǎo)體薄片樣品處理

使用操作簡(jiǎn)述

  1. 將單片晶圓放置工作臺(tái);

  2. 轉(zhuǎn)動(dòng)側(cè)面手輪帶動(dòng)滾輪旋轉(zhuǎn);

  3. 機(jī)構(gòu)自動(dòng)卡止缺口 / 平邊,完成定向;

  4. 撥桿切換,改變?nèi)笨谳敵龀颍〕鼍A即可進(jìn)入下道工序。


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