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技術(shù)文章
更新時(shí)間:2026-08-17
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供貨渠道:玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng) 品牌負(fù)責(zé)人:林經(jīng)理 地址:廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號(hào)電商集團(tuán) 7 樓整層
日本 FLUORO 福樂(lè)手動(dòng)晶圓對(duì)準(zhǔn)器分為兩大系列:
MFNA 系列:Notch 缺口晶圓專用,識(shí)別晶圓缺口定位
MFA?B 系列:Flat 平邊(定向邊)晶圓專用,識(shí)別平邊定位
純機(jī)械式手動(dòng)設(shè)備,無(wú)需電源、無(wú)需氣源;放置于潔凈工作臺(tái),用于貼膜、研磨、劃片切割、探針測(cè)試前,把晶圓缺口 / 平邊旋轉(zhuǎn)統(tǒng)一至指定角度,消除人工對(duì)位誤差;防靜電、低發(fā)塵,半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室、中試產(chǎn)線廣泛使用。
防靜電性能:滾輪與接觸部件采用導(dǎo)電 MC 尼龍,體積固有電阻 10?Ω/cm,有效泄放靜電,避免器件靜電損傷。
低發(fā)塵潔凈設(shè)計(jì):插入式精密軸承,減少摩擦產(chǎn)塵,適配 Class100?1000 潔凈室;無(wú)金屬直接接觸晶圓,避免硅片、鍍膜層劃傷。
插拔快拆滾輪:滾輪模塊可直接拔插拆卸,便于無(wú)塵清洗、更換備件,維護(hù)簡(jiǎn)單,無(wú)膠水析出污染風(fēng)險(xiǎn)。
定位撥桿:帶方向切換撥桿,可快速切換缺口 / 平邊的目標(biāo)朝向。
桌面小型化,重量輕,直接擺放工作臺(tái),不需要復(fù)雜安裝。
定位精度:±1° 以內(nèi),滿足常規(guī)半導(dǎo)體工藝預(yù)對(duì)準(zhǔn)需求。
| 型號(hào) | 適配晶圓 | 外形 W×D×H (mm) | 重量 |
|---|---|---|---|
| MFNA?200 | 8 英寸(200mm)缺口晶圓 | 290×190×143 | 1.8?kg |
| MFNA?300 | 12 英寸(300mm)缺口晶圓 | 定制大尺寸 | 3.2?kg |
| 型號(hào) | 適配晶圓 |
|---|---|
| MFA?50B | 2 英寸 |
| MFA?75B | 3 英寸 |
| MFA?100B | 4 英寸 |
| MFA?125B | 5 英寸 |
| MFA?150B | 6 英寸 |
| MFA?200B | 8 英寸 |
重點(diǎn)區(qū)分:MFNA?200 = 缺口 Notch;MFA?200B = 平邊 Flat,二者不可混用。
ANA?200:8 寸電動(dòng)缺口對(duì)準(zhǔn)器,電機(jī)自動(dòng)搜索缺口定位,外接 220V 供電,適合連續(xù)量產(chǎn)工位。
AFA?150L:6 寸電動(dòng)平邊對(duì)準(zhǔn)器。
半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)打樣、小批量中試線
晶圓貼膜、研磨、劃片切割前預(yù)定位
探針臺(tái)、檢測(cè)設(shè)備上料前角度統(tǒng)一
硅片、碳化硅、化合物半導(dǎo)體薄片樣品處理
將單片晶圓放置工作臺(tái);
轉(zhuǎn)動(dòng)側(cè)面手輪帶動(dòng)滾輪旋轉(zhuǎn);
機(jī)構(gòu)自動(dòng)卡止缺口 / 平邊,完成定向;
撥桿切換,改變?nèi)笨谳敵龀颍〕鼍A即可進(jìn)入下道工序。