日本 FLUORO 福樂 真空吸筆（C?防靜電系列 / F?耐酸堿特氟龍系列）

供貨渠道：玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應 品牌負責人：林經理 地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層

產品概述

FLUORO 真空吸筆（真空鑷子）用于半導體無塵室內手動搬運硅晶圓、碳化硅、玻璃基板、芯片 Die；依靠外接真空泵產生負壓吸附，實現無夾傷、無劃痕取放工件。

• C 系列：防靜電導電款，常規干態無塵工位，探針、貼膜、劃片、封裝工序主流選用。

• F 系列：PTFE 特氟龍（鐵氟龍）耐化學款，濕法清洗、蝕刻、浸泡藥液工況，耐強酸強堿有機溶劑。

需要配套福樂 FV 系列無油真空泵作為負壓氣源，吸嘴 / 吸盤為可更換模塊化耗材。

閥門類型定義（C/F 系列通用）

后綴 X = 萬向 360° 旋轉接頭；Y/Z = 直柄固定接頭；CP = 導電 PEEK 吸嘴；3F/PK/VP=F 系列吸嘴材質。

C 系列｜防靜電導電真空吸筆（黑色筆身，碳纖維增強導電尼龍）

核心特點

1. 筆身：碳纖維增強導電尼龍，整體導電通路，表面電阻 10??10?Ω，有效泄放靜電，保護器件不被 ESD 擊穿。

2. 吸嘴：導電 PEEK，鏡面拋光，低發塵，不劃傷晶圓鍍膜、光刻膠層。

3. 內部閥芯氟樹脂密封，氣密性優異，潔凈室 Class100?1000 可用，無金屬析出污染。

4. 模塊化快拆，吸嘴、吸盤快速更換，適配 2?12 英寸整片晶圓、小芯片。

C 系列國內熱銷型號

應用場景：探針臺、晶圓貼膜、研磨劃片、芯片封裝、光學基板搬運，干燥無塵環境，不可長時間浸泡化學藥液。

F 系列｜耐酸堿特氟龍 PTFE 真空吸筆（白色氟樹脂筆身）

核心特點

1. 整機筆身為 PTFE 特氟龍（四氟）氟樹脂，化學惰性，耐強酸、強堿、顯影液、各類有機溶劑，可短時浸泡藥液槽內使用。

2. 耐溫?20℃~180℃，冷熱藥液交替不變形滲漏；自重輕約 35g，長時間手持不累手。

3. 吸嘴可選三種材質：

• 3F(PCTFE)：標準特氟龍吸盤；

• PK(PEEK)：通用濕法，不傷鍍膜；

• VP(Vespel)：高耐磨，高頻連續作業工況。

F 系列國內熱銷型號

應用場景：濕法清洗、酸蝕刻、顯影、藥液浸泡前后晶圓轉移；不適合高沖擊機械磕碰。

配套真空泵（FLUORO 原裝氣源）

配件耗材清單

1. 各類圓形、方形晶圓吸盤（適配 2?12 英寸）；

2. 導電 PEEK、Vespel、PCTFE 吸嘴；

3. 防靜電真空軟管、接頭組件；

4. 吸筆立式收納支架。

選型注意要點

1. 干態潔凈工作臺 → 優先C 系列防靜電；接觸酸堿藥液、清洗槽 → 必須選F 系列特氟龍。

2. 確認閥門邏輯：頻繁點動取件選 001 常閉；長時間拿持工件選 003 帶自鎖開關。

3. F007 吹氣款不能直接搭配 FV?60，必須配套 FV?W 系列真空泵。

4. 整套包含：吸筆筆身 + 吸盤吸嘴 + 真空泵 + 真空管路，分開訂貨。

訂貨說明

日本原裝；部分型號現貨，訂貨貨期 4?6 周；可提供原廠 PDF 規格書、COA，支持含稅報價。

提示：下單請完整提供完整型號（含后綴接頭、吸嘴代碼），避免配件錯配。