日本 FLUORO 福樂 BC?K 系列 非接觸伯努利吸盤（晶圓懸浮搬運(yùn)卡盤）

供貨渠道：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng) 品牌負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理  地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道 906 號(hào)電商集團(tuán) 7 樓整層

產(chǎn)品概述

BC?K 系列為伯努利原理非接觸式手動(dòng)晶圓搬運(yùn)吸盤，區(qū)別普通真空吸筆；依靠潔凈壓縮空氣噴出形成氣膜，吸盤本體不接觸晶圓正面電路、鍍膜、光刻膠表面，僅導(dǎo)向擋塊與晶圓邊緣點(diǎn)接觸，專門解決超薄晶圓、雙面圖案晶圓搬運(yùn)劃傷、壓痕、粘片問題，Class100?1000 潔凈室使用。

??注意：BC?K 需要外接潔凈壓縮空氣氣源，不能接 FV 系列真空泵，必須配空壓機(jī) + 調(diào)壓閥 + 儲(chǔ)氣罐。

工作原理

通入潔凈壓縮空氣，吸盤噴口高速噴出氣流，吸盤與晶圓之間形成壓力差，晶圓被氣流向上托起，中間形成一層微米級(jí)氣膜實(shí)現(xiàn)懸浮，全程盤面不觸碰晶圓有效區(qū)域；僅四周導(dǎo)向銷對(duì)晶圓外緣做限位定位，可平穩(wěn)水平搬運(yùn)整片晶圓。

核心產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 真正非接觸保護(hù)晶圓表面：不接觸正面光刻 / 鍍膜層，可搬運(yùn)薄至50μm 超薄硅片、雙面圖形晶圓，無吸盤壓痕、無劃傷、無顆粒轉(zhuǎn)移。

2. 防靜電結(jié)構(gòu)：本體導(dǎo)電 MC 尼龍，體積電阻 10??10?Ω；透明防靜電 PC 導(dǎo)向環(huán)，可肉眼直接觀察晶圓懸浮狀態(tài)、居中情況，方便調(diào)試氣壓。

3. 邊緣僅點(diǎn)接觸：錐形導(dǎo)向擋塊，只接觸晶圓外緣，不會(huì)損傷芯片有效區(qū)域；更換導(dǎo)向環(huán)，同一手柄本體可兼容多種尺寸晶圓。

4. 三種固定操作角度可選：20° / 45° / 90°，角度為本體固定，如需改變角度需要更換手柄主體，適配不同工作臺(tái)操作姿態(tài)。

5. 輕量化手持設(shè)計(jì)，可手動(dòng)操作；也可改裝對(duì)接機(jī)械手作為自動(dòng)化末端執(zhí)行器。

6. 低發(fā)塵潔凈設(shè)計(jì)，全部樹脂無裸露金屬部件，適配半導(dǎo)體無塵環(huán)境。

主力型號(hào)一覽表（BC?K 平置手持系列）

擴(kuò)展型號(hào) BC?P8?300：12 英寸 300mm 晶圓專用伯努利卡盤，多用于產(chǎn)線自動(dòng)化。

關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 超薄硅片、減薄后晶圓搬運(yùn)，規(guī)避普通真空吸盤壓痕損傷

2. 雙面有圖形 / 鍍膜晶圓，正反面均不能觸碰的工序

3. 鍍膜、光刻后、劃片前、探針檢測(cè)工位晶圓上下料

4. 碳化硅、氮化鎵等脆性化合物半導(dǎo)體基板轉(zhuǎn)運(yùn)

5. 光學(xué)薄玻璃、精密薄片樣品實(shí)驗(yàn)室操作

??重要選型 & 使用注意

1. 氣源區(qū)分！BC?K 是接壓縮空氣，不是接 FV 真空真空泵，不能混用。

2. 氣源務(wù)必做好除油、除水、精密過濾；油水污染會(huì)直接污染晶圓。

3. 角度訂貨就要確定，本體角度不可現(xiàn)場(chǎng)調(diào)節(jié)。

4. 搬運(yùn)只適合水平平持搬運(yùn)，不適合豎直、倒掛作業(yè)。

5. 導(dǎo)向環(huán)、限位擋塊屬于消耗件，可單獨(dú)采購(gòu)備件更換。

訂貨說明

日本原裝；部分型號(hào)訂貨貨期 4?6 周，可提供原廠規(guī)格書 PDF，支持含稅報(bào)價(jià)。

選型小提示：普通厚度、干態(tài)晶圓選用 C 系列真空吸筆；減薄超薄、雙面帶電路，優(yōu)先 BC?K 伯努利非接觸吸盤