日本 FLUORO 福樂 FV 系列 無油隔膜真空泵（真空吸筆配套?無塵室專用）玉崎科學儀器原裝現貨供應

供貨渠道：玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應 品牌負責人：林經理  地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層

產品概述

FV 系列是 FLUORO 福樂專為半導體無塵室開發無油干式隔膜真空泵，作為 C 系列、F 系列真空吸筆專用負壓氣源，無需空壓機、儲氣罐，交流市電直接工作，適配 Class100?1000 潔凈環境，用于硅晶圓、碳化硅、光學基板、芯片手動搬運。 整機無油設計，杜絕油霧污染；主流機型進出氣配置HEPA 過濾器（0.3μm，過濾效率 99.97%），透明視窗可視濾芯損耗狀態，方便維護更換。 分為標準負壓款與FV?W 吸附 + 吹氣雙向款，吹氣款僅可搭配 C007 / F007 吹氣釋放型吸筆使用。

核心產品特點

1. 無油隔膜結構：無潤滑油，無油氣揮發污染晶圓，適合半導體潔凈工位；電磁驅動隔膜，磨損極低，理論耐久＞9000 小時，支持 24h 連續運行フロロメカ...。

2. HEPA 雙重過濾（FV?30?240 / FV?60?240 / FV?XP / FV?W）：進氣、出氣雙端過濾，透明觀察窗口，不用拆機即可判斷濾芯更換周期，防止泵體碎屑反向污染工件。

3. 防靜電殼體：導電尼龍機身，可接地泄放靜電，避免 ESD 損傷芯片器件。

4. 低噪音封閉式腔體，體積小巧桌面擺放，也可嵌入設備內部；功耗低，長期使用省電。

5. 管路兼容：支持 Φ3×5、Φ4×6 真空軟管，出廠標配 Φ3×5 軟管。

6. 電壓版本?240：AC220?240V，國內直接市電使用；?110 為 110V 日規版本。

主力型號規格參數（國內 220V 版本）

說明：FV?10 為入門微型泵，無 HEPA，僅適合小芯片小件，半導體晶圓工位較少選用。

各型號選型指引

1. FV?30?240：小負壓，適配 2?6 英寸小尺寸硅片，單支吸筆，預算有限實驗室。

2. FV?60?240（市面主流）：8 英寸晶圓通用，負壓充足，絕大多數 C/F 系列吸筆標準配套，實驗室、中試產線用量最大。

3. FV?XP：高性能加強版，更高真空 + 更大流量，12 寸大晶圓，可同時驅動多支吸筆，研發、小量產線。

4. FV?W 雙向泵：專屬匹配 C007?XX、F007?XX 吹氣釋放型吸筆；按下吸筆按鍵輸出柔和正壓吹氣，解決超薄片、濕法晶圓靜電 / 液膜粘片難以脫落問題；不可用于普通 001/002/003 吸筆。

典型應用場景

• 半導體無塵工作臺，配合 C 系列防靜電吸筆：干態晶圓、芯片、藍寶石基板拾取

• 配合 F 系列特氟龍吸筆：濕法清洗、腐蝕槽晶圓轉運

• 實驗室研發、探針臺、貼膜、劃片工位手動取片

• FV?W 用于超薄晶圓、薄片、微小晶粒防粘片卸料

配套耗材

1. HEPA 替換濾芯組件（定期消耗件）

2. Φ3×5 / Φ4×6 防靜電真空軟管

3. 接地套件，用于強化防靜電性能

訂貨說明

日本原裝；FV?60?240 部分現貨，其余型號訂貨貨期 4?6 周；可提供原廠 PDF 規格書，支持含稅報價。

選型提示：普通自鎖吸筆（001/002/003）選用 FV?30?240 / FV?60?240 / FV?XP；只有使用 007 吹氣吸筆才選 FV?W。