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當前位置:首頁技術文章MIYUKI 美幸輝 MGCS?21雙通道獨立真空壓力控制器玉崎科學儀器原裝供應

MIYUKI 美幸輝 MGCS?21雙通道獨立真空壓力控制器玉崎科學儀器原裝供應

更新時間:2026-08-25點擊次數:92

MIYUKI 美幸輝 MGCS?21|雙通道獨立真空壓力控制器(雙腔體 / 雙工藝段獨立控制)

原裝供應:玉崎科學儀器(深圳)有限公司,品牌負責人林經理

公司地址:廣東省深圳市龍華新區龍華街道 906 號電商集團 7 樓整層

型號:MGCS?21,雙通道獨立 PID 真空壓力控制器
MGCS?21 為雙通道獨立閉環控制器,通道 1、通道 2 兩套獨立 PID 運算,互不干擾;單臺控制器可驅動 2 臺 BAR/GAR/G 系列伺服調節閥,分別對應兩套獨立腔體 / 雙工藝段,各自讀取對應真空計信號,獨立穩壓;替代兩臺 MGCS?11,節省機柜空間,多用于雙腔鍍膜、串聯工藝腔體、雙工位設備。
??僅適配BAR、GAR、G 伺服調節閥不能驅動 BAZ 定點閥、BH 緩抽閥、B 開關閥

型號釋義

MGCS?21:雙通道獨立 APC 真空壓力控制器;通道 CH?1、CH?2 硬件獨立;

可定制:UPS 斷電保護;RS485 通訊;機柜 19 英寸半機架安裝。

結構與工作原理

  1. 雙通道獨立 PID 閉環控制

    每通道獨立真空計輸入、獨立 PID 運算、獨立閥門驅動輸出,兩個腔體工藝壓力、PID 參數、配方分開,互不影響;支持 PIDAT 一鍵自整定,每通道可單獨自整定,適配不同腔體容積、不同泵抽速工況。

    閉環邏輯:真空計采集腔體壓力→對應通道 PID 運算→輸出驅動信號調節對應伺服閥開度→改變流導,穩定腔體工藝壓力。

  2. 人機界面:5 英寸彩色觸摸屏

    分屏同時顯示 CH?1、CH?2 設定壓力、實際壓力、閥門開度、報警狀態;每通道可獨立調用存儲工藝配方。

  3. 信號接口

  • 模擬輸入:每通道 1 路 0?10V 真空計輸入,合計 2 路獨立真空傳感器;

  • 驅動輸出:2 路伺服閥驅動輸出,分別驅動 #1、#2 伺服調節閥;

  • I/O 干接點:每通道獨立啟停、報警、就緒信號;全局報警輸出;

  • 通訊:RS?232C,可選 RS485;支持 PLC / 上位機遠程對兩個通道分別下發設定、讀取壓力、開度數據。

  1. 斷電保護:支持外接 UPS 不間斷電源,保存閥位與工藝參數

安裝:19 英寸半機架機柜安裝;工作環境 0?55℃,避免粉塵腐蝕性氣體。

完整技術參數

表格
項目MGCS?21 雙通道壓力控制器 參數
控制通道CH?1、CH?2,兩套硬件獨立 PID 閉環
壓力控制區間0.1Pa~10?Pa(每通道獨立)
控制精度設定壓力 ±0.1% FS,每通道獨立指標
PID 算法PIDAT 模糊自整定,每通道獨立 7 檔自整定
真空計輸入2× 獨立 0?10V DC(通道 1、通道 2 各接一只真空計)
閥門驅動輸出2 路獨立驅動,適配 BAR/GAR/G 系列伺服調節閥
工藝配方存儲每通道 8 組獨立配方,合計 16 組可調用
顯示5 英寸彩色觸摸屏,雙通道同屏顯示
電氣 I/O每通道獨立啟停、就緒、報警干接點;全局報警輸出
通訊接口標配 RS?232C;可選 RS?485
供電AC100?230V 寬電壓,最大功耗 300W
安裝方式19 英寸半機架安裝
尺寸 (寬 × 深 × 高)241?mm ×344?mm ×143.5?mm
重量5.2kg

典型應用場景(雙腔體 / 雙工藝段獨立控制)

  1. 雙腔 PVD、串聯式卷繞鍍膜設備
    前處理腔體與鍍膜腔體,兩個腔體需要維持不同工藝壓力;一臺 MGCS?21 分別驅動兩臺伺服閥,兩套閉環獨立穩壓,省去兩臺單通道 MGCS?11,節約機柜空間與成本。
  2. 雙工位半導體、光伏工藝腔體
    兩套腔體并行工藝,壓力參數不一樣;通道 1、通道 2 可獨立啟停,互不干涉。
  3. 科研雙腔體系統、對比試驗平臺
    兩個實驗腔體需要分別穩壓,做對照工藝實驗;每通道獨立整定 PID,適配不同腔體特性。
選型邊界區分:
  • MGCS?21(雙通道獨立):2 套獨立腔體,各配 1 臺伺服閥,兩套閉環獨立運行

  • MGCS?11(單通道):單腔體控制;如需雙腔,必須配置 2 臺 MGCS?11;

  • MS?PC:BAZ/GAZ 定點閥專用控制器,不能做 PID 壓力閉環

系統成套配置方案

系統組成:MGCS?21 雙通道控制器 + 伺服閥 ×2 臺 + 真空計 ×2 臺
工作流程:CH?1 讀取 #1 腔體真空計,驅動 #1 伺服閥,維持 #1 腔體目標壓力;CH?2 讀取 #2 腔體真空計,驅動 #2 伺服閥,維持 #2 腔體目標壓力;兩個通道可獨立啟動 / 停止,支持本地觸摸屏操作,也支持 PLC 遠程分別控制兩個通道。
??重要提醒:
  1. MGCS?21只支持 BAR/GAR/G 系列伺服調節閥,不能驅動 BH 緩抽閥、B 開關蝶閥、BAZ 定點閥;

  2. 兩個腔體必須分別配置獨立真空計,不可共用一只真空計;

  3. 不是 “一通道接兩個閥門",而是一通道對應一套腔體 + 一套伺服閥

選型對比(MGCS?21 VS MGCS?11×2)

表格
項目MGCS?21 雙通道控制器2 臺 MGCS?11 單通道控制器
控制能力2 通道獨立 PID 閉環兩臺各 1 通道獨立 PID 閉環
占用機柜空間半機架(1 臺)2 臺半機架,占用雙倍空間
配方存儲每通道 8 組,合計 16 組每臺 7 組,合計 14 組
觸摸屏5 寸彩屏,雙腔同屏顯示4 寸單色屏,單腔顯示
通訊一套 RS232,可分別讀寫兩個通道兩套獨立 RS232,上位機需要雙串口
適用場景雙腔體、雙工位設備多腔體、設備空間充足場景

供貨與選型提示

  1. 供貨狀態:MGCS?21 雙通道控制器,訂貨交期;UPS 斷電保護、RS485 版本為定制;可提供原廠規格書、CE 證書。

  2. 選型避坑:MGCS?21 是兩套獨立閉環,不是單通道雙閥輸出;不可驅動 BAZ/BH/B 系列閥門;每通道必須配套對應伺服閥 + 獨立真空計。

提示:市面存在翻新二手控制器,采購務必核對本體銘牌以及原廠檢測資料。


服務熱線
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