規(guī)格
| 口徑 | 80A 至 400A |
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| 工作壓力范圍 | 10? Pa 至10?? Pa |
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內(nèi)部密封件(閥門)泄漏 | 1× 10?1? Pa·m3 / s 或更低 |
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外部密封件(軸)泄漏量 | 1× 10?1? Pa·m3 / s 或更低 |
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| 氣體接觸部件的材料 | SUS304 |
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| 閥門密封 | 氟橡膠O型圈 |
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| 軸封 | 氟橡膠O型圈 |
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| 耐熱溫度 | 主機(jī):150℃ |
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| 電機(jī):40℃ |
| 停電期間閥門運(yùn)行* | 停止(剎車鎖) |
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GAR在安裝位置方面存在一些限制。詳情請(qǐng)聯(lián)系我們。
我們還可以生產(chǎn)防斷電產(chǎn)品。
主要用途:
· 半導(dǎo)體制造:刻蝕、沉積、離子注入、外延、清洗設(shè)備的真空腔體隔離、壓力閉環(huán)調(diào)節(jié)、
大流量快速排氣
· 真空鍍膜:光學(xué)/半導(dǎo) PVD/CVD 鍍膜線的抽氣控制、工藝壓力穩(wěn)定、腔體通斷
· 光伏鋰電:硅片制絨、PECVD、鋰電真空干燥、涂層檢測(cè)的大口徑真空管路控制
· 科研分析:高能物理、材料表征、質(zhì)譜、電子顯微鏡的高真空系統(tǒng)氣路控制
· 工業(yè)真空:真空爐、釬焊、檢漏、氦回收系統(tǒng)的大流量、高精度壓力調(diào)節(jié)
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