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OHKURA大倉臥式擴散爐DF1000 熱處理系統玉崎科學原裝供應
更新時間：2026-09-14
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OHKURA大倉臥式擴散爐DF1000 熱處理系統玉崎科學原裝供應
臥式擴散爐是進行半導體制造工藝中的一環，即熱處理的系統。其結構是水平組裝加熱器室，并堆疊2-4層，有效利用了縱向空間，熱處理的種類包括擴散、氧化等，處理溫度也由低溫至高溫不等，使用本公司生產的高性能控制器，可應對各種工藝需求。
特點
■均熱性提高
通過將與使用溫度相應的加熱器和本公司生產的高性能控制器結合使用，實現更加穩定的溫度控制和均熱長度。
■支持100-200mm晶圓
擴散爐系統直徑為φ100mm-φ200mm，可以根據客戶的要求提供合適的擴散爐。
■簡單的維護性
即使其他加熱器正在升溫，也可安全更換熱電偶以及加熱器。
■性價比
精選所用部件，采用實用結構，實現低價格。
■支持翻新
外形尺寸已控制到最小，因此也能用于更新老舊且空間有限的系統。
規格
| 晶圓尺寸 | ～φ200mm | ～φ150mm | ～φ125mm | ～φ100mm |
|---|---|---|---|---|
| 爐身尺寸 *1 | W 2650mm× D 1200mm× H 2580mm | W 2300mm× D 850mm× H 2395mm | W 2180mm× D 850mm× H 2395mm | W 1850mm× D 700mm× H 2150mm |
| 均熱長度 ＊2 | 900mm±1.0℃ （No.GAS） | 900mm±1.0℃ （No.GAS） | 800mm±1.0℃ （No.GAS） | 800mm±1.0℃ （No.GAS） |
| 溫度范圍 | 600～1200℃ | 600～1200℃ | 600～1200℃ | 600～1200℃ |
| 溫度控制 | 3Zone獨立控制 | 3Zone獨立控制 | 3Zone獨立控制 | 3Zone獨立控制 |
| 運輸類（選購項） | 晶舟電梯 軟件加載器 | 軟件加載器 晶舟電梯 軟件加載器 | 軟件加載器 晶舟電梯 晶舟加載器、軟件加載器 | 晶舟加載器 |
OHKURA大倉供貨采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
