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原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統
產品簡介:

原裝ULVAC日本愛發(fā)科 SG-10-4 脈沖和直流電源系統
原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統

產品型號:SG-10-4

更新時間:2025-11-12

廠商性質:代理商

訪問量:313

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原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統

原裝ULVAC日本愛發(fā)科脈沖和直流電源系統


兼具可靠性和穩(wěn)定性的雙陰極支持LF電源


脈沖和直流電源系統
LF電源_SG
Model: SG

ULVAC


它專為等離子體生成而設計,例如 LF 電源、雙陰極濺射、等離子體CVD等,并且可以連續(xù)輸出20kHz至100kHz頻率的額定功率,用于等離子體負載。它是一種高度可靠的電源,通過在設計中體現我們多年積累的專業(yè)知識,包括電源的應用,非常適合等離子負載。

    特點

    • 您可以以1kHz為增量從20kHz到100kHz設置振蕩頻率。 *1

    • 可以在不改變變壓器抽頭的情況下輸出到規(guī)格的輸出范圍。

    • 可進行脈沖輸出控制。

    • 外部模擬控制、控制器控制等是標準設備,可通過 OPTION 進行S232C、RS485和EtherCAT等各種控制。

    *1:輸出電壓/電流根據頻率設定條件有限制。

    規(guī)格

    ModelSG-10-4
    輸入規(guī)格輸入電壓3相 AC380-440V
    輸入電容13.2kVA 或更低
    輸出規(guī)格最大額定功率10kW
    額定電流32A
    額定電壓1000Vrms
    振蕩頻率20k-100kHz
    控制控制精度± 100W(電壓 30V 或更高,電流 1.5A 或更高)
    其他條件適用
    控制保修范圍額定功率值的 10-100%(電壓 30V 以上,電流 1.5A 以上)
    外部控制模擬/數字、串行通信(RS232C 或 RS485)、EtherCAT(可選)
    冷卻方式水冷:7 L/min 或更高
    外形尺寸(W×D×H) 不包含突起483×500×177(mm)
    質量40kg
    適合規(guī)格CE、SEMI F47、RoHS(歐洲)


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