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當前位置:首頁產品中心ULVAC日本愛發科DC-5-P/DC-10-P進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統
產品簡介:

進口ULVAC日本愛發科 DC-5-P/DC-10-P 脈沖和直流電源系統
進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

產品型號:DC-5-P/DC-10-P

更新時間:2025-11-12

廠商性質:代理商

訪問量:216

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進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統

進口ULVAC日本愛發科脈沖和直流電源系統


實現穩定反應濺射的直流脈沖電源


脈沖和直流電源系統
直流脈沖電源_DC PULSE系列
Model: DC PULSE

ULVA

DC PULSE 系列是一種脈沖電源,可有效抑制無功過程中發生的異常放電。
該電源在設定的周期內反轉輸出電壓,并抵消目標表面的電荷積累(充電),從而抑制異常放電并提高良率和吞吐量。

    特點

    • 通過抑制異常放電,可以輸入大功率。

    • 減少電弧引起的基板損傷

    • 輸出的振蕩頻率可設置為 5kHz 至 250kHz。

    • 最多可并聯運行 6 臺(僅限同一型號的組合)

    • 通過改變運行模式,也可以用作具有低電弧功能的直流電源。

    規格

    ModelDC-5-PDC-10-P
    輸入規格輸入電壓三相 AC208V
    輸入電容8kVA 或更低13.5kVA 或更低
    輸出規格最大額定功率5kW10kW
    額定電流12.5A25A
    額定電壓5k-150kHz:800V、155k-250kHz:650V
    振蕩頻率5k-250kHz
    反向電壓脈沖寬度0.4μ-5.0μs
    點火電壓1500V
    控制控制精度±額定輸出的 0.5% 或設定值的 ±1% 或更低,以較大者為準。
    控制保修范圍額定功率值的 10-100%
    外部控制Analog/Digital、通信(RS232C 或 RS485)
    并聯運行
    冷卻方式強制風冷
    外形尺寸(W×D×H) 不包含突起483×630×133(mm)
    質量29kg36kg
    適合規格CE、KC、SEMI F47、RoHS(歐洲)


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